| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 论文的研究背景 | 第8页 |
| 1.2 研究目的 | 第8-9页 |
| 1.3 研究意义 | 第9-10页 |
| 1.4 硬质合金铸锭炉温度控制技术研究现状 | 第10-14页 |
| 1.4.1 硬质合金铸锭工艺发展 | 第10-11页 |
| 1.4.2 硬质合金铸锭炉温控技术的发展近况 | 第11-12页 |
| 1.4.3 硅晶体生产方法概述 | 第12-13页 |
| 1.4.4 多晶硅铸锭炉研究生产现状 | 第13-14页 |
| 1.5 本文的工作安排 | 第14-16页 |
| 第2章 多晶硅铸锭炉生产工艺介绍及温度控制系统设计要求 | 第16-26页 |
| 2.1 铸锭生产工艺流程 | 第16-18页 |
| 2.1.1 铸锭生产工艺及要求 | 第16-17页 |
| 2.1.2 铸锭炉温度控制过程分析 | 第17-18页 |
| 2.2 模糊PID温度控制方案 | 第18-19页 |
| 2.2.1 常规PID控制方法分析 | 第18页 |
| 2.2.2 自整定模糊PID温控方案 | 第18-19页 |
| 2.3 系统总体技术指标 | 第19页 |
| 2.4 铸锭炉系统构成及自动调节的基本目标 | 第19-24页 |
| 2.4.1 温度控制系统设计现状 | 第22-23页 |
| 2.4.2 温度控制系统设计目标 | 第23-24页 |
| 2.5 多晶硅铸锭炉热场控制系统基本结构 | 第24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 模糊PID温控系统理论分析 | 第26-36页 |
| 3.1 铸锭炉温控系统概述及硬件组成 | 第26-27页 |
| 3.2 模糊PID控制原理 | 第27-28页 |
| 3.3 真空多晶硅铸锭炉控制策略实现方案 | 第28-30页 |
| 3.4 铸炉炉模糊PID控制 | 第30-36页 |
| 3.4.1 输入输出变量确定及其模糊化处理 | 第31-33页 |
| 3.4.2 模糊PID控制器规则 | 第33-36页 |
| 第4章 铸锭炉模糊PID控制的仿真和实现 | 第36-42页 |
| 4.1 仿真环境 | 第36-37页 |
| 4.2 模糊PID控制仿真分析 | 第37-39页 |
| 4.3 PID温度控制与模糊PID温度控制的仿真比较 | 第39-42页 |
| 第5章 控制系统程序设计及运行结果 | 第42-58页 |
| 5.1 多晶硅铸锭炉整体结构示意图 | 第42-44页 |
| 5.1.1 系统总体设计 | 第42-44页 |
| 5.2 多晶硅铸锭炉温度控制系统硬件设置 | 第44-46页 |
| 5.3 铸锭炉温控系统主控软件 | 第46页 |
| 5.4 PLC控制系统软件设计 | 第46-50页 |
| 5.4.1 铸锭炉总控制系统程序 | 第46-48页 |
| 5.4.2 温控系统子程序 | 第48-50页 |
| 5.5 上位机界面设计 | 第50-54页 |
| 5.5.1 上位机软件功能开发工具 | 第50-51页 |
| 5.5.2 上位机软件主要功能 | 第51页 |
| 5.5.3 主要界面图 | 第51-54页 |
| 5.6 运行效果分析 | 第54-56页 |
| 5.7 本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 个人简历 | 第68-69页 |