基于激光干涉仪的微弱声信号检测方法研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 本文研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 微弱声信号探测技术在国内外相关产品 | 第9-12页 |
| 1.2.1 纳米级位移测量的原理 | 第9-10页 |
| 1.2.2 纳米级位移测量相关产品 | 第10-12页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 激光干涉测量理论研究 | 第13-28页 |
| 2.1 激光干涉测量理论 | 第13-15页 |
| 2.1.1 激光干涉条件 | 第13-14页 |
| 2.1.2 偏振光学理论 | 第14-15页 |
| 2.2 光学偏振特性计算方法 | 第15-20页 |
| 2.2.1 邦加球、斯托克斯参量和密勒矩阵 | 第16-19页 |
| 2.2.2 琼斯矢量和琼斯矩阵计算方法 | 第19-20页 |
| 2.3 偏振型迈克尔逊干涉仪模型计算 | 第20-23页 |
| 2.3.1 偏振干涉仪的结构 | 第21-22页 |
| 2.3.2 偏振干涉仪的琼斯矩阵模型 | 第22-23页 |
| 2.4 激光干涉仪的调制方法和解调技术 | 第23-27页 |
| 2.4.1 干涉仪的调制方法 | 第24页 |
| 2.4.2 干涉仪的PGC解调方法 | 第24-26页 |
| 2.4.3 相位生成载波算法关键参数研究于选取 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 偏振型干涉仪测量系统 | 第28-40页 |
| 3.1 干涉仪的整体布置方案 | 第28-29页 |
| 3.1.1 测量系统系统构成 | 第28-29页 |
| 3.1.2 测量系统布局 | 第29页 |
| 3.2 干涉仪的光学平台布置 | 第29-35页 |
| 3.2.1 激光干涉仪的搭建与调节 | 第29-32页 |
| 3.2.2 干涉仪光学元件参数选取 | 第32-35页 |
| 3.3 干涉仪电路部分参数选择 | 第35-37页 |
| 3.3.1 压电陶瓷PZT驱动电压选择 | 第35-36页 |
| 3.3.2 光电探测器相关参数 | 第36-37页 |
| 3.4 干涉仪解调信号传输与显示 | 第37-39页 |
| 3.4.1 信号采集与光纤传输 | 第37-38页 |
| 3.4.2 解调显示软件 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 激光干涉仪测试 | 第40-50页 |
| 4.1 光学元件性能指标的检测 | 第40-42页 |
| 4.1.1 激光器的检测 | 第40页 |
| 4.1.2 偏振分光镜的检测 | 第40-41页 |
| 4.1.3 反射镜的检测 | 第41-42页 |
| 4.2 实验测试 | 第42-46页 |
| 4.2.1 加速度计对干涉仪进行频率标定定 | 第42-43页 |
| 4.2.2 纳米位移台对干涉仪进行位移标 | 第43-44页 |
| 4.2.3 低频声源发射声信号检测 | 第44-46页 |
| 4.3 信号解调结果研究 | 第46-48页 |
| 4.3.1 系统设备自身振动干扰 | 第46-47页 |
| 4.3.2 噪声来源与分布 | 第47-48页 |
| 4.3.3 后续改进设想 | 第48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
