| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-27页 |
| 1.1 RF MEMS开关研究背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 RF MEMS开关分类 | 第16-17页 |
| 1.3 RF MEMS开关研究现状 | 第17-23页 |
| 1.3.1 电容式RF MEMS开关 | 第17-19页 |
| 1.3.2 欧姆接触式RF MEMS开关 | 第19-23页 |
| 1.4 RF MEMS开关的应用 | 第23-24页 |
| 1.5 研究的目的与意义 | 第24页 |
| 1.6 论文主要研究内容 | 第24-27页 |
| 第二章 双驱动RF MEMS开关建模 | 第27-35页 |
| 2.1 RF MEMS开关模型结构 | 第27-28页 |
| 2.2 RF MEMS开关设计原理分析 | 第28-31页 |
| 2.2.1 无限大平行板电极静电力计算 | 第29-30页 |
| 2.2.2 挠曲微梁电极静电力计算 | 第30-31页 |
| 2.3 RF MEMS开关的材料选取与结构参数 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 双驱动RF MEMS开关动力学分析 | 第35-55页 |
| 3.1 膜桥结构的受力分析及计算 | 第35-37页 |
| 3.2 RF MEMS开关求解算法分析 | 第37-41页 |
| 3.3 横向载荷作用微梁的仿真分析 | 第41-42页 |
| 3.4 RF MEMS开关动力分析 | 第42-48页 |
| 3.4.1 时变分布载荷下膜桥的振动响应 | 第42-45页 |
| 3.4.2 静电驱动微梁的动态响应 | 第45-48页 |
| 3.5 RF MEMS开关膜桥动态响应仿真分析与优化 | 第48-53页 |
| 3.5.1 不同电压下膜桥动态响应 | 第48-51页 |
| 3.5.2 不同结构参数下膜桥动态响应 | 第51-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 RF MEMS开关电磁特性分析与优化 | 第55-65页 |
| 4.1 RF MEMS开关射频性能参数 | 第55-56页 |
| 4.1.1 RF MEMS开关隔离度 | 第55页 |
| 4.1.2 RF MEMS开关的插入损耗 | 第55-56页 |
| 4.1.3 RF MEMS开关电容比 | 第56页 |
| 4.2 RF MEMS开关电磁场分析流程 | 第56-57页 |
| 4.3 RF MEMS开关模型简化 | 第57-58页 |
| 4.4 RF MEMS开关电磁特性优化 | 第58-63页 |
| 4.4.1 介电层厚度对RF MEMS射频性能的影响 | 第60-61页 |
| 4.4.2 介质层材料对开关射频性能的影晌 | 第61-63页 |
| 4.5 RF MEMS开关器件性能对比 | 第63-64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 总结 | 第65-66页 |
| 5.2 展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者简介 | 第73-74页 |