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F半导体公司应用六西格玛理论对测试良品率的改进

中文摘要第4-5页
abstract第5页
第一章 绪论第8-12页
    1.1 选题背景第8页
    1.2 本文研究的目的及意义第8-9页
    1.3 本文研究的思路与结构第9-10页
    1.4 半导体行业需求分析第10-12页
第二章 六西格玛理论知识第12-15页
    2.1 六西格玛的基本理论第12-13页
    2.2 六西格玛与项目管理第13-14页
    2.3 六西格玛发展现状第14-15页
第三章 项目界定第15-21页
    3.1 项目背景第15页
    3.2 项目目标第15-16页
    3.3 项目目标与公司战略目标的一致性第16页
    3.4 项目团队建设第16-17页
    3.5 项目范围第17-19页
    3.6 项目财政收益和时间表第19-21页
第四章 测量阶段第21-30页
    4.1 半导体制造流程第21-23页
    4.2 半导体测试原理第23-24页
        4.2.1 关于半导体电性测试第23-24页
        4.2.2 静态电流测试原理第24页
    4.3 静态电流测试数据的过程能力检验第24-25页
    4.4 因果图第25-27页
    4.5 测量工具的重复性和再现性第27-30页
第五章 分析阶段第30-40页
    5.1 低良品率可能性的分析第30页
    5.2 电性测试的目的第30-31页
    5.3 电性测试结果分析第31-36页
        5.3.1 静态电流值关于频率的分析第32-33页
        5.3.2 频率的相关性分析第33-34页
        5.3.3 温度相关性的验证第34-35页
        5.3.4 模块相关性的验证第35-36页
    5.4 单因子假设检验第36页
    5.5 单因子假设检验结果第36-38页
    5.6 静态电流值分析的结论第38-40页
第六章 改进阶段第40-45页
    6.1 改进计划第40-41页
    6.2 矩阵晶圆验证因子的方法第41页
    6.3 矩阵晶圆验证因子的结果第41-42页
    6.4 矩阵晶圆测量数据的分析结果第42-43页
    6.5 矩阵晶圆测量数据的分析结论第43-45页
第七章 控制阶段第45-47页
    7.1 电流测试的控制第45页
    7.2 改进后良品率和失效率的控制第45-47页
第八章 项目总结第47-49页
    8.1 研究总结第47-48页
    8.2 研究展望第48-49页
参考文献第49-52页
致谢第52-53页

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