| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 重金属离子检测的重要意义 | 第10页 |
| 1.3 水环境中重金属离子检测技术现状与发展 | 第10-13页 |
| 1.3.1 仪器分析法 | 第11-12页 |
| 1.3.2 电化学分析法 | 第12页 |
| 1.3.3 生物检测法 | 第12-13页 |
| 1.4 纳机电系统综述 | 第13-16页 |
| 1.4.1 微机电系统简介 | 第13-14页 |
| 1.4.2 纳机电系统定义 | 第14-15页 |
| 1.4.3 NEMS的主要特性 | 第15-16页 |
| 1.4.4 NEMS的应用领域 | 第16页 |
| 1.5 课题的研究背景 | 第16-18页 |
| 1.6 论文的主要工作 | 第18-20页 |
| 第二章 纳机电谐振器的静电激励与压阻检测 | 第20-30页 |
| 2.1 NEMS谐振器的静电激励 | 第20-23页 |
| 2.2 NEMS谐振器的谐振频率和品质因数 | 第23-25页 |
| 2.3 NEMS谐振器的压阻检测原理 | 第25-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 硅金复合纳米梁振动特性的分子动力学模拟 | 第30-34页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 仿真模型 | 第30-31页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第31-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 静电驱动硅金复合纳米梁制备及振动特性的实验测量 | 第34-52页 |
| 4.1 硅金复合纳米梁结构的工艺流程 | 第34-37页 |
| 4.2 硅金复合纳米梁结构的版图设计 | 第37-41页 |
| 4.2.1 不同形式纳米梁版图设计 | 第37-38页 |
| 4.2.2 重掺杂区版图设计 | 第38-39页 |
| 4.2.3 驱动电极及纳米尺寸金材料版图设计 | 第39页 |
| 4.2.4 压阻区与金属层引线通孔版图设计 | 第39-40页 |
| 4.2.5 串联电阻版图设计 | 第40-41页 |
| 4.2.6 检测电极及金属引线版图设计 | 第41页 |
| 4.3 主要工艺讨论 | 第41-46页 |
| 4.3.1 接触式光刻与电子束光刻 | 第41-43页 |
| 4.3.2 离子注入 | 第43页 |
| 4.3.3 电子束蒸发与磁控溅射 | 第43-44页 |
| 4.3.4 金属剥离 | 第44-45页 |
| 4.3.5 硅金复合梁的释放 | 第45-46页 |
| 4.4 硅金复合梁结构样品 | 第46-47页 |
| 4.5 基于激光多普勒测振仪的硅金复合梁结构振动特性的实验测量 | 第47-50页 |
| 4.5.1 激光多普勒测振仪系统概述 | 第47-48页 |
| 4.5.2 实验方案 | 第48页 |
| 4.5.3 实验测量数据 | 第48-50页 |
| 4.5.4 实验数据分析与讨论 | 第50页 |
| 4.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 硅金复合纳米梁表面修饰材料的制备与表征 | 第52-58页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 实验部分 | 第52-53页 |
| 5.2.1 仪器与试剂 | 第52页 |
| 5.2.2 巯基功能化有机硅纳米颗粒修饰金片的制备 | 第52-53页 |
| 5.2.3 实验方法 | 第53页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第53-56页 |
| 5.3.1 带疏基有机硅纳米颗粒制备原理 | 第53页 |
| 5.3.2 带巯基有机硅纳米颗粒形貌表征 | 第53-54页 |
| 5.3.3 MPTS修饰金片形貌表征 | 第54-55页 |
| 5.3.4 MPTS修饰金片对重金属Pb~(2+)的检测 | 第55-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 工作总结 | 第58页 |
| 6.2 工作展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 作者简介 | 第66页 |
