| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-28页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第11-13页 |
| 1.2 柔性压力传感器的分类、材料及性能评价 | 第13-15页 |
| 1.3 国内外研究发展状况 | 第15-23页 |
| 1.3.1 国内研究发展状况 | 第15-19页 |
| 1.3.2 国外研究发展状况 | 第19-23页 |
| 1.4 柔性压力传感器的发展趋势 | 第23-24页 |
| 1.5 本论文意义及主要研究内容 | 第24-27页 |
| 1.6 论文创新点 | 第27-28页 |
| 第二章 银纳米线电极材料的制备以及表征 | 第28-45页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 银纳米线的制备方法 | 第28-29页 |
| 2.3 实验材料及设备 | 第29-30页 |
| 2.4 银纳米线的制备 | 第30-33页 |
| 2.4.1 银纳米线的合成机理分析 | 第30-32页 |
| 2.4.2 银纳米线的制备过程 | 第32-33页 |
| 2.5 物理性质表征 | 第33-34页 |
| 2.5.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第33-34页 |
| 2.5.2 紫外-可见分光光度计 | 第34页 |
| 2.6 影响因素优化分析及表征 | 第34-44页 |
| 2.6.1 PVP相对分子质量对银纳米线生长的影响 | 第35-38页 |
| 2.6.2 PVP与AgNO_3的摩尔比对银纳米线生长的影响 | 第38-40页 |
| 2.6.3 金属盐阴离子对银纳米线的合成的影响 | 第40-42页 |
| 2.6.4 反应温度对银纳米线的合成的影响 | 第42-44页 |
| 2.7 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 柔性压力传感器的制备及其性能研究 | 第45-57页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 实验部分 | 第45-52页 |
| 3.2.1 实验材料 | 第45-46页 |
| 3.2.2 柔性PDMS薄膜制备 | 第46-48页 |
| 3.2.3 电极薄膜的制备 | 第48-51页 |
| 3.2.4 电容式压力传感器的制备 | 第51-52页 |
| 3.3 测试原理及器件的性能测试 | 第52-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 柔性压力传感器的响应特性优化研究 | 第57-71页 |
| 4.1 引言 | 第57页 |
| 4.2 实验部分 | 第57-60页 |
| 4.2.1 实验材料 | 第57页 |
| 4.2.2 基片硅烷化处理 | 第57-58页 |
| 4.2.3 微纳结构和平面结构薄膜的制备与表征 | 第58-60页 |
| 4.3 微纳结构和平面结构的传感器测试与分析 | 第60-68页 |
| 4.3.1 工艺集成方法 | 第60-61页 |
| 4.3.2 传感器的测试与分析 | 第61-68页 |
| 4.3.2.1 两种结构的传感器的测试 | 第61-63页 |
| 4.3.2.2 传感器的灵敏度分析 | 第63-64页 |
| 4.3.2.3 传感器的最小检出限 | 第64-65页 |
| 4.3.2.4 微纳结构对传感器性能优化的影响机制分析 | 第65-68页 |
| 4.4 探索性研究 | 第68-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 柔性压力传感器应用测试 | 第71-74页 |
| 5.1 传感器的应用测试 | 第71-73页 |
| 5.2 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第74-77页 |
| 6.1 全文总结 | 第74-75页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-85页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第85页 |
