| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第15-33页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第15-17页 |
| 1.2 空间直线运动中六自由度测量方法现状分析 | 第17-24页 |
| 1.2.1 空间直线运动的定义及其误差分析 | 第17-20页 |
| 1.2.2 基于特定直线基准的六自由度测量方法现状分析 | 第20-23页 |
| 1.2.3 多位移传感器联合解算的六自由度测量方法现状分析 | 第23-24页 |
| 1.3 空间直线运动中多自由度运动误差补偿技术现状分析 | 第24-27页 |
| 1.3.1 多自由度运动误差实时测量主动补偿技术现状分析 | 第25-26页 |
| 1.3.2 多自由度运动误差离线检测软件修正技术现状分析 | 第26-27页 |
| 1.4 基于宏/微驱动的空间直线运动技术现状 | 第27-30页 |
| 1.5 本研究领域存在的科学问题和关键技术问题 | 第30-31页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 基于非封闭测量环全局模型的六自由度实时测量方法研究 | 第33-60页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 非封闭测量环六自由度测量方法分析 | 第33-36页 |
| 2.3 非封闭测量环六自由度测量的理论模型 | 第36-39页 |
| 2.4 非封闭测量环六自由度测量的全局模型 | 第39-59页 |
| 2.4.1 六自由度测量系统构成和坐标系定义 | 第39-41页 |
| 2.4.2 水平位置和姿态测量的全局模型 | 第41-52页 |
| 2.4.3 垂向位置和姿态测量的全局模型 | 第52-57页 |
| 2.4.4 六自由度位置和姿态解算 | 第57-59页 |
| 2.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第3章 基于准零刚度准零阻尼悬浮的六自由度微动方法研究 | 第60-91页 |
| 3.1 引言 | 第60-61页 |
| 3.2 零刚度零阻尼悬浮技术分析 | 第61-64页 |
| 3.3 低刚度悬浮和非接触直接驱动六自由度微动技术研究 | 第64-77页 |
| 3.3.1 低刚度磁悬浮技术 | 第64-71页 |
| 3.3.2 非接触直接驱动技术 | 第71-72页 |
| 3.3.3 六自由度运动解耦模型 | 第72-77页 |
| 3.4 准零刚度准零阻尼悬浮技术研究 | 第77-90页 |
| 3.4.1 寄生刚度和阻尼的产生机理分析 | 第77-79页 |
| 3.4.2 位置相关干扰力的时域辨识 | 第79-83页 |
| 3.4.3 位置相关干扰力的前馈补偿 | 第83-85页 |
| 3.4.4 速度相关干扰力的频域辨识 | 第85-89页 |
| 3.4.5 速度相关干扰力的前馈补偿 | 第89-90页 |
| 3.5 本章小结 | 第90-91页 |
| 第4章 基于宏/微驱动的大范围空间直线运动 | 第91-109页 |
| 4.1 引言 | 第91页 |
| 4.2 宏/微驱动技术方案 | 第91-92页 |
| 4.3 基于多柔性铰链组合的H型驱动宏动系统设计 | 第92-107页 |
| 4.3.1 H型驱动的宏动系统构成 | 第92页 |
| 4.3.2 宏动系统各自由度刚度要求计算 | 第92-95页 |
| 4.3.3 多柔性铰链组合局部和整体刚度矩阵模型 | 第95-105页 |
| 4.3.4 H型驱动各柔性铰链的结构参数优化及仿真 | 第105-107页 |
| 4.4 本章小结 | 第107-109页 |
| 第5章 实验与分析 | 第109-132页 |
| 5.1 引言 | 第109页 |
| 5.2 整体系统构成 | 第109-110页 |
| 5.3 微动系统伺服性能仿真与测试 | 第110-113页 |
| 5.4 微动系统六自由度运动性能测试 | 第113-117页 |
| 5.4.1 单自由度运动分辨力实验 | 第113-114页 |
| 5.4.2 两位移自由度解耦实验 | 第114-116页 |
| 5.4.3 三位移自由度解耦实验 | 第116-117页 |
| 5.5 六自由度测量和运动解耦实验 | 第117-120页 |
| 5.6 宏/微驱动系统运动性能测试 | 第120-121页 |
| 5.7 空间直线运动基准精度和重复性测试 | 第121-126页 |
| 5.7.1 平面内直线度分布测量 | 第121-125页 |
| 5.7.2 与斐索干涉仪AK100对比 | 第125-126页 |
| 5.8 空间直线运动基准大范围内精度和重复性测试 | 第126-127页 |
| 5.9 空间直线运动基准不确定度分析 | 第127-131页 |
| 5.9.1 标准不确定度分量来源 | 第127-128页 |
| 5.9.2 标准不确定度分量计算 | 第128-131页 |
| 5.9.3 合成标准不确定度u | 第131页 |
| 5.9.4 扩展不确定度U | 第131页 |
| 5.10 本章小结 | 第131-132页 |
| 结论 | 第132-136页 |
| 参考文献 | 第136-148页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第148-150页 |
| 致谢 | 第150-151页 |
| 个人简历 | 第151页 |
