| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 引言 | 第9-34页 |
| 1.1 CIGS薄膜太阳电池的研究历史和发展前景 | 第9-13页 |
| 1.2 CIS系薄膜太阳电池的性能和特点 | 第13-16页 |
| 1.3 CIGS薄膜太阳电池的结构和制备方法 | 第16-24页 |
| 1.3.1 CIGS薄膜太阳电池的结构和各膜层制备方法 | 第16-17页 |
| 1.3.2 高质量CIGS吸收层的性能要求 | 第17-18页 |
| 1.3.3 CIGS吸收层制备工艺 | 第18-24页 |
| 1.4 问题的提出 | 第24-31页 |
| 1.4.1 靶材质量评价标准 | 第24-26页 |
| 1.4.2 CIGS靶材研究历史与进展 | 第26-27页 |
| 1.4.3 高质量CIGS靶材制备意义 | 第27-31页 |
| 1.5 研究内容与工艺路线 | 第31-32页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第31-32页 |
| 1.5.2 工艺路线 | 第32页 |
| 1.6 创新点 | 第32-34页 |
| 第2章 实验设备、方法和样品表征 | 第34-43页 |
| 2.1 引言 | 第34页 |
| 2.2 主要实验设备和实验方法 | 第34-41页 |
| 2.2.1 混合粉末制备 | 第34-36页 |
| 2.2.2 CIGS靶材制备 | 第36-37页 |
| 2.2.3 CIGS薄膜制备 | 第37-38页 |
| 2.2.4 CIGS薄膜退火 | 第38-39页 |
| 2.2.5 CIGS电池其他膜层制备 | 第39-41页 |
| 2.3 分析仪器和样品表征方法 | 第41-43页 |
| 第3章 高密实率靶材制备和烧结密实化过程研究 | 第43-68页 |
| 3.1 烧结工艺比较与选定 | 第44-47页 |
| 3.2 球磨工艺的优化 | 第47-50页 |
| 3.3 粉末成分的确定 | 第50-51页 |
| 3.4 烧结密实化过程的主要影响因素分析 | 第51-53页 |
| 3.5 烧结温度对靶材烧结性能的影响 | 第53-60页 |
| 3.5.1 烧结温度对靶材相组成的影响 | 第53-57页 |
| 3.5.2 烧结温度对靶材晶粒尺寸和断面形貌的影响 | 第57-59页 |
| 3.5.3 烧结温度对靶材密实率的影响 | 第59-60页 |
| 3.5.4 烧结温度对靶材成分的影响 | 第60页 |
| 3.6 烧结压力对靶材烧结性能的影响 | 第60-62页 |
| 3.7 烧结温度和烧结压力对靶材烧结性能的综合影响 | 第62-65页 |
| 3.7.1 烧结温度和烧结压力对靶材密实率的综合影响 | 第62-63页 |
| 3.7.2 烧结温度和烧结压力对靶材相组成的综合影响 | 第63-64页 |
| 3.7.3 烧结温度和烧结压力对靶材晶粒尺寸和断面形貌的综合影响 | 第64-65页 |
| 3.8 烧结时间对靶材烧结性能的影响 | 第65-66页 |
| 3.9 粉末球磨时间对靶材烧结性能的影响 | 第66-67页 |
| 3.10 本章小结 | 第67-68页 |
| 第4章 CIGS靶材烧结缺陷产生机制研究 | 第68-88页 |
| 4.1 粉末球磨合金化过程对分层缺陷产生的影响 | 第69-83页 |
| 4.1.1 球磨时间对分层缺陷出现的影响 | 第69-70页 |
| 4.1.2 球磨过程中化合反应过程 | 第70-74页 |
| 4.1.3 合金化反应与分层缺陷产生的联系 | 第74-77页 |
| 4.1.4 分层机制验证试验 | 第77-79页 |
| 4.1.5 低熔点相存在验证试验 | 第79-81页 |
| 4.1.6 靶材分层模型验证试验 | 第81-83页 |
| 4.2 烧结温度和烧结压力对分层缺陷产生的影响 | 第83-87页 |
| 4.2.1 靶材出现分层缺陷的烧结温度和烧结压力条件 | 第83-84页 |
| 4.2.2 CIGS相变过程对烧结缺陷出现的影响 | 第84-86页 |
| 4.2.3 CIGS相变对分层影响验证试验 | 第86-87页 |
| 4.3 本章小结 | 第87-88页 |
| 第5章 掺Na CIGS靶材制备及Na掺杂对CIGS靶材烧结性能的影响 | 第88-104页 |
| 5.1 引言 | 第88-91页 |
| 5.2 Na的掺杂形式和加入量 | 第91-92页 |
| 5.3 热压烧结制备CIGS靶材 | 第92-98页 |
| 5.3.1 Na掺杂对靶材密实率的影响 | 第92-94页 |
| 5.3.2 Na掺杂对CIGS靶材相组成的影响 | 第94-97页 |
| 5.3.3 Na掺杂对CIGS靶材断面形貌的影响 | 第97-98页 |
| 5.4 Na在CIGS靶材中的存在形态 | 第98-103页 |
| 5.4.1 Na元素分布和价态研究 | 第98-100页 |
| 5.4.2 Na_2Se_x生成的验证试验 | 第100-103页 |
| 5.5 本章小结 | 第103-104页 |
| 第6章 富Se CIGS靶材、吸收层和电池的制备与性能 | 第104-125页 |
| 6.1 引言 | 第104-105页 |
| 6.2 富Se CIGS靶材制备 | 第105-119页 |
| 6.2.1 Cu_2Se、In_2Se_3、Ga_2Se_3和Se混合粉末烧结制备富Se CIGS靶材 | 第106-109页 |
| 6.2.2 CIGS粉末制备 | 第109-111页 |
| 6.2.3 CIGS和Se混合粉末烧结制备富Se CIGS靶材 | 第111-119页 |
| 6.3 CIGS吸收层制备 | 第119-121页 |
| 6.4 CIGS电池制备 | 第121-124页 |
| 6.5 本章小结 | 第124-125页 |
| 第7章结论 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-136页 |
| 致谢 | 第136-138页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第138页 |
