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单层WS2xSe2-2x化学气相沉积

摘要第5-6页
Abstract第6页
第1章 绪论第9-24页
    1.1 二维材料概述第9-16页
        1.1.1 过渡族金属硫化物二维晶体材料的研究进展第9-13页
        1.1.2 二维材料常用制备方法第13-16页
    1.2 单层WS_2、WSe_2及WS_(2x)Se_(2-2x)的性质与应用第16-22页
        1.2.1 单层WS_2、WSe_2及WS_(2x)Se_(2-2x)简介第16-18页
        1.2.2 层数相关的二硫、硒化钨间接—直接能带结构转变第18页
        1.2.3 单层WS_2及WSe_2的性质第18-20页
        1.2.4 单层WS_2、WSe_2及WS_(2x)Se_(2-2x)的应用第20-22页
    1.3 表征手段第22页
    1.4 本文的主要工作第22-24页
第2章 实验材料及表征方法第24-37页
    2.1 实验药品及仪器设备第24-29页
        2.1.1 实验所用化学试剂及耗材第24-25页
        2.1.2 实验所用仪器第25-26页
        2.1.3 场效应管制备主要设备第26-29页
    2.2 材料的表征方法第29-34页
        2.2.1 场发射扫描电子显微镜(FESEM)第29-30页
        2.2.2 透射电子显微镜(TEM)第30-31页
        2.2.3 光学显微镜(OM)第31-32页
        2.2.4 拉曼光谱仪(Raman)第32-33页
        2.2.5 光致发光光谱(PL)第33页
        2.2.6 原子力显微镜(AFM)第33-34页
    2.3 光电性能测试第34-37页
        2.3.1 电子迁移率第34-35页
        2.3.2 响应电流及响应率第35-36页
        2.3.3 响应时间第36-37页
第3章 单层WS_2及WSe_2的制备及物性研究第37-66页
    3.1 单层WS_2的制备与物性研究第37-50页
        3.1.1 单层WS_2的制备方法与流程第37-38页
        3.1.2 WS_2形貌表征第38-41页
        3.1.3 单层WS_2的拉曼表征第41-43页
        3.1.4 二硫化钨薄膜的透射电镜表征第43-44页
        3.1.5 单层WS_2的光电性能研究第44-50页
            3.1.5.1 转移和输出曲线第44-46页
            3.1.5.2 IV曲线第46-48页
            3.1.5.3 响应率第48-49页
            3.1.5.4 光响应电流与响应时间第49-50页
    3.2 单层WSe_2的制备与表征第50-64页
        3.2.1 单层WSe_2的制备方法与流程第50-51页
        3.2.2 WSe_2形貌表征第51-56页
        3.2.3 单层WSe_2的拉曼表征第56-58页
        3.2.4 二硒化钨薄膜的透射电镜表征第58页
        3.2.5 单层WSe_2的光电性能研究第58-64页
    3.3 本章小结第64-66页
第4章 单层WS_(2x)Se_(2-2x)的制备及物性研究第66-97页
    4.1 单层WS_(2x)Se_(2-2x)的制备方法与流程第66-67页
    4.2 WS_(2x)Se_(2-2x)形貌和拉曼表征第67-76页
        4.2.1 控制硒源和硫源的温度得到不同组分的WS_(2x)Se_(2-2x)第67-68页
        4.2.2 控制不同的Ar/H_2比例得到不同组分的WS_(2x)Se_(2-2x)第68-70页
        4.2.3 钨源的温度和衬底的位置对WS_(2x)Se_(2-2x)的调控作用第70-72页
        4.2.4 WS_(2x)Se_(2-2x)的mapping图谱第72-76页
    4.3 WS_(2x)Se_(2-2x)薄膜的透射电镜表征第76-77页
    4.4 WS_(2x)Se_(2-2x)的光电性能研究第77-95页
        4.4.1 WS_(1.5)Se_(0.5) 的光电性能研究第77-83页
        4.4.2 WS_(0.5)Se_(1.5) 的光电性能研究第83-89页
        4.4.3 WSeS的光电性能研究第89-95页
    4.5 本章小结第95-97页
结论第97-98页
参考文献第98-103页
攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果第103-104页
致谢第104页

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