基于微反射镜的激光直写系统中关键技术的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 英文缩略语表 | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| ·研究背景 | 第13-15页 |
| ·国内外研究背景 | 第15页 |
| ·论文的主要研究内容及结构 | 第15-19页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| ·论文的结构 | 第17-19页 |
| 第二章 激光直写系统及其关键技术 | 第19-29页 |
| ·激光直写系统概述 | 第19-20页 |
| ·DLP——激光直写系统的核心 | 第20-23页 |
| ·DLP 技术的发展历程 | 第20-22页 |
| ·DLP 技术的基本原理 | 第22-23页 |
| ·DLP 技术的应用趋势 | 第23页 |
| ·控制软件 | 第23-24页 |
| ·软件设计的要求及其在系统中的作用 | 第23-24页 |
| ·当前同类软件应用分析 | 第24页 |
| ·菲涅尔透镜 | 第24-27页 |
| ·菲涅尔透镜发展历史 | 第24-26页 |
| ·菲涅尔透镜主要特性 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 直写系统中关键技术的分析及解决思路 | 第29-44页 |
| ·DLP 控制技术 | 第29-36页 |
| ·DMD 微透镜工作过程分析 | 第29-30页 |
| ·数字微透镜装置控制系统的基本组成 | 第30-32页 |
| ·控制电压序列与状态转换流程 | 第32-34页 |
| ·控制电压序列的作用 | 第34-36页 |
| ·控制软件的设计思路及流程 | 第36-39页 |
| ·均光技术 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 直写系统中各模块的具体设计及运行调试结果 | 第44-75页 |
| ·DLP 控制部分设计 | 第44-53页 |
| ·数据输入接口部分分析研究 | 第44-46页 |
| ·数据处理存储部分分析研究 | 第46-48页 |
| ·微反射镜控制时序部分分析研究 | 第48-52页 |
| ·结论 | 第52-53页 |
| ·控制软件的具体设计编写及调试 | 第53-57页 |
| ·BMP 位图的 DIB 的结构 | 第53-55页 |
| ·位图文件的显示 | 第55-57页 |
| ·均光技术的具体设计及小孔、狭缝测试实验报告 | 第57-71页 |
| ·典型菲涅尔透镜的应用 | 第57-59页 |
| ·本系统光路具体设计结构 | 第59-71页 |
| ·整合运行结果 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第五章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·全文总结 | 第75页 |
| ·研究展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间已发表的论文 | 第79-82页 |
| 附件 | 第82页 |
