| 摘要 | 第11-13页 |
| ABSTRACT | 第13-15页 |
| 第1章 绪论 | 第16-40页 |
| 1.1 引言 | 第16-18页 |
| 1.2 铁电材料历史与分类 | 第18-20页 |
| 1.3 铁电薄膜的特点 | 第20-21页 |
| 1.4 钙钛矿型铁电薄膜及其当前的研究概况 | 第21-31页 |
| 1.4.1 钙钛矿型铁电材料的结构特点 | 第21-22页 |
| 1.4.2 钙钛矿型铁电薄膜在MEMS中的应用 | 第22-27页 |
| 1.4.3 钙钛矿型铁电薄膜的研究现状 | 第27-31页 |
| 1.5 本课题研究目的及主要内容 | 第31-33页 |
| 1.5.1 本课题研究的目的及意义 | 第31页 |
| 1.5.2 本课题研究的主要内容 | 第31-33页 |
| 参考文献 | 第33-40页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第40-54页 |
| 2.1 薄膜样品的制备 | 第40-42页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第40页 |
| 2.1.2 研究方法 | 第40-42页 |
| 2.2 微观结构表征 | 第42-44页 |
| 2.2.1 晶体结构分析 | 第42页 |
| 2.2.2 微观形貌分析 | 第42-43页 |
| 2.2.3 电畴结构分析 | 第43-44页 |
| 2.3 电学性能测试 | 第44-52页 |
| 2.3.1 铁电性能 | 第45-46页 |
| 2.3.2 介电性能 | 第46-47页 |
| 2.3.3 压电性能e_(31,f)的测试 | 第47-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 第3章 BZT薄膜畴结构与储能特性的研究 | 第54-92页 |
| 3.1 引言 | 第54-56页 |
| 3.2 弹性多畴理论 | 第56-60页 |
| 3.2.1 R相高阶畴 | 第57-58页 |
| 3.2.2 T/R异相多畴 | 第58-60页 |
| 3.3 钛酸钡的相调控 | 第60-61页 |
| 3.4 BZT/SRO/Sub异质结构薄膜的制备 | 第61-63页 |
| 3.5 BZT薄膜结构测试 | 第63-75页 |
| 3.5.1 BZT薄膜相结构 | 第63-65页 |
| 3.5.2 TEM分析BZT薄膜异相多畴结构 | 第65-68页 |
| 3.5.3 SHG分析BZT薄膜异相多畴结构 | 第68-72页 |
| 3.5.4 AFM观察BZT薄膜异相多畴结构 | 第72-74页 |
| 3.5.5 BZT薄膜异相多畴结构 | 第74-75页 |
| 3.6 BZT薄膜的电学性能 | 第75-84页 |
| 3.6.1 BZT薄膜铁电与储能特性 | 第75-77页 |
| 3.6.2 BZT薄膜的铁电与储能温度稳定性 | 第77页 |
| 3.6.3 BZT薄膜介电性能随偏压电场的变化 | 第77-78页 |
| 3.6.4 BZT薄膜的介电频谱与介电的温度稳定性 | 第78-80页 |
| 3.6.5 BZT薄膜的循环特性 | 第80页 |
| 3.6.6 铁电材料与相关材料储能特性对比 | 第80-84页 |
| 3.7 本章小结 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-92页 |
| 第4章 BT-xBS铁电梯度薄膜制备与电学性能表征 | 第92-114页 |
| 4.1 引言 | 第92-97页 |
| 4.1.1 陶瓷与薄膜 | 第92-94页 |
| 4.1.2 梯度薄膜 | 第94-95页 |
| 4.1.3 BT-xBS固溶体 | 第95-97页 |
| 4.2 BT-xBS薄膜的制备 | 第97-99页 |
| 4.3 BT-xBS膜厚和组成分布 | 第99页 |
| 4.4 热处理对结构与性能的影响 | 第99-101页 |
| 4.5 微观结构与形貌分析 | 第101-102页 |
| 4.6 电学性能分析 | 第102-105页 |
| 4.7 本章小结 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-114页 |
| 第5章 小信号e_(31,f)压电测试观测PZT外延薄膜畴翻转动力学过程 | 第114-132页 |
| 5.1 引言 | 第114-115页 |
| 5.2 PZT薄膜的制备 | 第115-116页 |
| 5.3 PZT薄膜结构分析 | 第116-119页 |
| 5.4 电学性能表征 | 第119-127页 |
| 5.4.1 “大信号”与“小信号”e_(31,f)测试 | 第119-124页 |
| 5.4.2 PZT薄膜铁电性能 | 第124-126页 |
| 5.4.3 PZT薄膜介电性能 | 第126-127页 |
| 5.5 本章小结 | 第127-128页 |
| 参考文献 | 第128-132页 |
| 第6章 结论与展望 | 第132-134页 |
| 6.1 结论 | 第132-133页 |
| 6.2 展望 | 第133页 |
| 6.3 主要创新点 | 第133-134页 |
| 致谢 | 第134-136页 |
| 附录Ⅰ 攻读博士期间发表的论文和取得的成果 | 第136-138页 |
| 附录 | 第138-149页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第149页 |
