| 摘要 | 第9-11页 |
| Abstract | 第11-12页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 研究的背景、意义和目的 | 第13-17页 |
| 1.2 大面积非平整衬底和易碎衬底纳米压印技术国内外研究现状 | 第17-23页 |
| 1.3 课题的来源 | 第23页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第23-25页 |
| 1.4.1 电渗驱动纳米压印理论分析 | 第23页 |
| 1.4.2 电渗驱动纳米压印数值模拟 | 第23页 |
| 1.4.3 电渗驱动纳米压印实验研究 | 第23-25页 |
| 第2章 电渗驱动纳米压印聚合物流变填充的基本理论 | 第25-43页 |
| 2.1 电渗驱动纳米压印技术工艺简介 | 第25-26页 |
| 2.2 电渗驱动纳米压印技术工艺原理 | 第26页 |
| 2.3 电渗驱动纳米压印技术工艺特点 | 第26-30页 |
| 2.3.1 电渗驱动纳米压印聚合物驱动方式 | 第26-28页 |
| 2.3.2 电渗流和双电层 | 第28-29页 |
| 2.3.3 电渗驱动纳米压印聚合物填充方式 | 第29-30页 |
| 2.4 电渗驱动纳米压印聚合物填充流动控制方程 | 第30-38页 |
| 2.4.1 体积力F | 第30-36页 |
| 2.4.2 填充速度v | 第36-38页 |
| 2.4.3 填充时间t | 第38页 |
| 2.5 电渗驱动纳米压印过程聚合物界面行为以及受力分析 | 第38-42页 |
| 2.5.1 通电前后聚合物界面受力以及形貌变化 | 第38-40页 |
| 2.5.2 电场力（体积力）F | 第40页 |
| 2.5.3 表面张力σ | 第40页 |
| 2.5.4 摩擦力f | 第40-41页 |
| 2.5.5 黏滞力f＇ | 第41-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 电渗驱动纳米压印聚合物流变填充的数值模拟 | 第43-65页 |
| 3.1 建模工具 | 第43-44页 |
| 3.1.1 COMSOL Multiphysics简介 | 第43-44页 |
| 3.2 有限元模型 | 第44-45页 |
| 3.2.1 几何建模 | 第44-45页 |
| 3.2.2 参数设置和条件假设 | 第45页 |
| 3.2.3 网格划分 | 第45页 |
| 3.3 模拟结果与分析（填充高度） | 第45-52页 |
| 3.3.1 随时间变化填充过程的动态演化 | 第45-47页 |
| 3.3.2 工艺参数（电压） | 第47-48页 |
| 3.3.3 模具几何特征 | 第48-51页 |
| 3.3.4 聚合物性能（聚合物粘度） | 第51-52页 |
| 3.4 模拟结果与分析（填充速度和动态填充特性） | 第52-62页 |
| 3.4.1 聚合物动态填充聚合物界面形貌变化 | 第52-54页 |
| 3.4.2 Zeta电势 | 第54-57页 |
| 3.4.3 电压 | 第57-60页 |
| 3.4.4 聚合物粘度 | 第60-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-65页 |
| 第4章 电渗驱动纳米压印工艺实验研究 | 第65-77页 |
| 4.1 实验平台搭建及实验要求 | 第65-66页 |
| 4.1.1 实验平台搭建 | 第65页 |
| 4.1.2 实验要求 | 第65-66页 |
| 4.2 实验仪器及材料 | 第66-67页 |
| 4.2.1 实验仪器 | 第66页 |
| 4.2.2 实验材料 | 第66-67页 |
| 4.3 实验步骤 | 第67-72页 |
| 4.3.1 模板的制备 | 第67-71页 |
| 4.3.2 衬底的处理 | 第71页 |
| 4.3.3 匀胶过程 | 第71页 |
| 4.3.4 电渗驱动纳米压印成型过程 | 第71-72页 |
| 4.3.5 固化脱模过程 | 第72页 |
| 4.3.6 后处理过程 | 第72页 |
| 4.4 实验结果与分析 | 第72-76页 |
| 4.4.1 实验结果 | 第72-74页 |
| 4.4.2 结果分析与结论 | 第74-76页 |
| 4.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第5章 结论与展望 | 第77-79页 |
| 5.1 结论 | 第77-78页 |
| 5.2 展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
