| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-26页 |
| ·课题研究背景 | 第13-14页 |
| ·国内外相关技术研究概况 | 第14-24页 |
| ·磨粒有序化排布研究现状 | 第14-19页 |
| ·金属蚀刻技术的研究现状 | 第19-21页 |
| ·磨削区磨削液流场的研究现状 | 第21-24页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第24-25页 |
| ·课题来源 | 第24页 |
| ·本课题研究内容 | 第24-25页 |
| ·课题研究意义 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第2章 叶序排布磨粒族砂轮的设计 | 第26-40页 |
| ·叶序理论与砂轮设计 | 第26-27页 |
| ·砂轮基体的设计 | 第27-28页 |
| ·磨料种类与粒度的选择 | 第28-29页 |
| ·磨料种类的选择 | 第28页 |
| ·磨料粒度的选择 | 第28-29页 |
| ·磨粒族砂轮参数的确定 | 第29-33页 |
| ·叶序系数的选择 | 第29-31页 |
| ·磨粒族直径的选择 | 第31-32页 |
| ·排布形式的选择 | 第32-33页 |
| ·制造磨粒族砂轮工艺流程的设计 | 第33-34页 |
| ·磨粒族砂轮三维模型的设计 | 第34-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 叶序排布磨粒族砂轮的制造 | 第40-59页 |
| ·砂轮基体的制造 | 第40页 |
| ·叶序排布凸台的电解蚀刻制造 | 第40-50页 |
| ·叶序排布防蚀层的制备 | 第40-44页 |
| ·叶序排布防蚀层的材料 | 第41-42页 |
| ·曝光装置 | 第42页 |
| ·叶序排布掩膜板的制作 | 第42-43页 |
| ·叶序排布防蚀层的制备过程 | 第43-44页 |
| ·凸台的电解蚀刻制造 | 第44-50页 |
| ·电解蚀刻原理 | 第44页 |
| ·电解蚀刻参数的研究 | 第44-47页 |
| ·电解蚀刻制造凸台流程 | 第47-48页 |
| ·叶序凸台实物 | 第48-49页 |
| ·缺陷凸台原因分析 | 第49-50页 |
| ·电镀前处理 | 第50-51页 |
| ·电镀原理 | 第50页 |
| ·磨粒镀前处理 | 第50-51页 |
| ·叶序排布磨粒族砂轮的电镀 | 第51-57页 |
| ·砂轮基体空镀 | 第51页 |
| ·凸台沟槽涂覆电镀绝缘漆 | 第51-52页 |
| ·凸台表面电镀前处理 | 第52页 |
| ·凸台表面空度、上砂镀 | 第52-53页 |
| ·剥离电镀绝缘漆 | 第53-55页 |
| ·加厚电镀 | 第55页 |
| ·磨粒族砂轮实物 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第4章 叶序排布磨粒族砂轮磨削性能试验 | 第59-103页 |
| ·试验材料 | 第59页 |
| ·试验设备及试验方案 | 第59-70页 |
| ·试验设备与测量装置 | 第59-65页 |
| ·试验系统的构建 | 第65页 |
| ·试验方案的设计 | 第65-70页 |
| ·不同叶序系数叶序排布磨粒族砂轮磨削性能对比试验 | 第70-78页 |
| ·磨削力的对比分析 | 第70-72页 |
| ·磨削温度的对比分析 | 第72-73页 |
| ·表面粗糙度的对比分析 | 第73-74页 |
| ·加工表面形貌的对比分析 | 第74-75页 |
| ·砂轮磨损的对比分析 | 第75-78页 |
| ·不同磨粒族直径叶序排布磨粒族砂轮磨削性能对比试验 | 第78-83页 |
| ·磨削力的对比分析 | 第78-80页 |
| ·磨削温度的对比分析 | 第80-81页 |
| ·表面粗糙度的对比分析 | 第81-82页 |
| ·加工表面形貌的对比分析 | 第82-83页 |
| ·砂轮磨损的对比分析 | 第83页 |
| ·不同磨粒族排布形式的磨粒族砂轮磨削性能对比试验 | 第83-88页 |
| ·磨削力的对比分析 | 第83-85页 |
| ·磨削温度的对比分析 | 第85-86页 |
| ·表面粗糙度的对比分析 | 第86-87页 |
| ·加工表面形貌的对比分析 | 第87页 |
| ·砂轮磨损的对比分析 | 第87-88页 |
| ·不同磨削参数下磨粒族砂轮磨削性能对比试验 | 第88-101页 |
| ·磨削力的对比分析 | 第89-93页 |
| ·磨削厚度对磨粒族砂轮磨削力的影响 | 第89-90页 |
| ·进给速度对磨粒族砂轮磨削力的影响 | 第90-91页 |
| ·砂轮线速度对磨粒族砂轮磨削力的影响 | 第91-93页 |
| ·磨削温度的对比分析 | 第93-95页 |
| ·磨削厚度对磨粒族砂轮磨削温度的影响 | 第93页 |
| ·进给速度对磨粒族砂轮磨削温度的影响 | 第93-94页 |
| ·砂轮线速度对磨粒族砂轮磨削温度的影响 | 第94-95页 |
| ·表面粗糙度的对比分析 | 第95-97页 |
| ·磨削厚度对表面粗糙度的影响 | 第95页 |
| ·进给速度对表面粗糙度的影响 | 第95-96页 |
| ·砂轮线速度对表面粗糙度的影响 | 第96-97页 |
| ·加工表面形貌的对比分析 | 第97-101页 |
| ·磨削厚度对加工表面形貌的影响 | 第97-98页 |
| ·进给速度对加工表面形貌的影响 | 第98-99页 |
| ·砂轮线速度对加工表面形貌的影响 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101-103页 |
| 第5章 叶序排布磨粒族砂轮磨削区流场仿真 | 第103-114页 |
| ·CFD和FLUENT软件概述 | 第103-105页 |
| ·CFD概述 | 第103-104页 |
| ·FLUENT软件概述 | 第104-105页 |
| ·磨削过程中磨粒族运动状态数学模型的建立 | 第105-107页 |
| ·齐次坐标表示法概述 | 第105页 |
| ·磨粒族运动轨迹数学模型的建立 | 第105-107页 |
| ·磨削过程中磨削液流动状态的数值模拟 | 第107-113页 |
| ·计算区域与网格的生成 | 第107页 |
| ·计算域边界条件的建立 | 第107-108页 |
| ·磨粒族直径对磨削区磨削液流动状态的影响 | 第108-109页 |
| ·叶序系数对磨削区磨削液流动状态的影响 | 第109-111页 |
| ·磨粒族不同排布对磨削区磨削液流动状态的影响 | 第111-112页 |
| ·砂轮线速度对磨削区磨削液流动状态的影响 | 第112-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 结论 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-119页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第119-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |