摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-6页 |
第一章 绪论 | 第6-14页 |
·引言 | 第6页 |
·氧化锌的基本结构特性及其应用 | 第6-9页 |
·ZnO材料的研究热点及进展 | 第9-11页 |
·ZnO薄膜的制备方法 | 第11-13页 |
·论文的选题依据与研究内容 | 第13-14页 |
第二章 实验方法 | 第14-20页 |
·实验设备与原理 | 第14-15页 |
·制备工艺流程 | 第15-16页 |
·表征方法 | 第16-20页 |
第三章 ZnO薄膜的制备及其光学特性 | 第20-25页 |
·ZnO薄膜的制备 | 第20页 |
·结果与分析 | 第20-23页 |
·本章小结 | 第23-25页 |
第四章 N掺杂ZnO薄膜的制备与特性 | 第25-39页 |
·溅射气体流量的影响 | 第25-30页 |
·溅射时间的影响 | 第30-33页 |
·溅射功率的影响 | 第33-35页 |
·靶基距的影响 | 第35-37页 |
·本章小结 | 第37-39页 |
第五章 总结 | 第39-40页 |
致谢 | 第40-41页 |
参考文献 | 第41-43页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第43页 |