首页--数理科学和化学论文--物理学论文--固体物理学论文--薄膜物理学论文--薄膜的生长、结构和外延论文

N掺杂对磁控溅射制备ZnO薄膜光致发光特性影响研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-6页
第一章 绪论第6-14页
   ·引言第6页
   ·氧化锌的基本结构特性及其应用第6-9页
   ·ZnO材料的研究热点及进展第9-11页
   ·ZnO薄膜的制备方法第11-13页
   ·论文的选题依据与研究内容第13-14页
第二章 实验方法第14-20页
   ·实验设备与原理第14-15页
   ·制备工艺流程第15-16页
   ·表征方法第16-20页
第三章 ZnO薄膜的制备及其光学特性第20-25页
   ·ZnO薄膜的制备第20页
   ·结果与分析第20-23页
   ·本章小结第23-25页
第四章 N掺杂ZnO薄膜的制备与特性第25-39页
   ·溅射气体流量的影响第25-30页
   ·溅射时间的影响第30-33页
   ·溅射功率的影响第33-35页
   ·靶基距的影响第35-37页
   ·本章小结第37-39页
第五章 总结第39-40页
致谢第40-41页
参考文献第41-43页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第43页

论文共43页,点击 下载论文
上一篇:硅量子点表面修饰及其光谱分析
下一篇:基于背景纹影技术激光损伤材料的气流场测量