| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·研究背景 | 第10页 |
| ·关于X荧光光谱分析仪的科学分析 | 第10-13页 |
| ·X射线荧光光谱分析仪工作原理 | 第10-12页 |
| ·波谱-能谱复合型X射线荧光光谱仪 | 第12-13页 |
| ·波谱-能谱复合型X射线荧光光谱仪的应用需求 | 第13页 |
| ·研制恒温控制模块和真空控制模块的意义 | 第13-15页 |
| ·光谱仪性能与温度的关系 | 第13-14页 |
| ·光谱仪性能与真空的关系 | 第14-15页 |
| ·国内外恒温控制的现状分析 | 第15-18页 |
| ·温度测量技术分析 | 第15-16页 |
| ·温度控制算法现状分析 | 第16-17页 |
| ·现有温度控制器分析 | 第17-18页 |
| ·国内外真空控制的现状分析 | 第18-21页 |
| ·真空测量技术的分析 | 第18-19页 |
| ·现有真空控制方法的分析 | 第19-20页 |
| ·现有真空控制设备的分析 | 第20-21页 |
| ·本论文的基本内容 | 第21-22页 |
| 第二章 总体方案设计 | 第22-28页 |
| ·系统设计功能要求及技术指标 | 第22页 |
| ·系统的结构框图 | 第22-23页 |
| ·恒温控制系统的热力学分析 | 第23-25页 |
| ·基于TMS320F28335控制芯片方案设计 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 系统温控模块硬件设计 | 第28-42页 |
| ·温度信号采集模块的设计 | 第28-39页 |
| ·温度传感器 | 第28-29页 |
| ·测温电路的设计 | 第29-31页 |
| ·恒流源电路设计 | 第31-33页 |
| ·放大与滤波电路 | 第33-37页 |
| ·A/D转换模块的设计 | 第37-39页 |
| ·温度执行器电路设计 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 系统真空模块硬件设计 | 第42-52页 |
| ·真空信号采集电路 | 第42-44页 |
| ·电磁阀控制电路 | 第44-45页 |
| ·真空泵控制电路 | 第45-49页 |
| ·真空泵工作原理 | 第46-47页 |
| ·变频器工作原理 | 第47-48页 |
| ·变频器控制电路 | 第48-49页 |
| ·CAN总线通信电路 | 第49-51页 |
| ·CAN总线通信原理 | 第49-50页 |
| ·结合MFC320F28335的eCAN模块电路设计 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 系统控制算法设计 | 第52-62页 |
| ·PID控制算法概述 | 第52-54页 |
| ·模糊控制算法概述 | 第54-57页 |
| ·Fuzzy-PID控制算法原理 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第六章 系统实验及结果分析 | 第62-76页 |
| ·系统的硬件结构 | 第62-64页 |
| ·系统的监控软件 | 第64-66页 |
| ·恒温系统实验结果及性能分析 | 第66-71页 |
| ·真空系统实验结果及性能分析 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第七章 总结与展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 发表论文和参加科研情况 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84页 |