| 致谢 | 第1-3页 |
| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪言 | 第11-14页 |
| 参考文献 | 第12-14页 |
| 第二章 文献综述 | 第14-35页 |
| 2．1． 引言 | 第14页 |
| 2．2． 多晶硅薄膜的常用制备方法 | 第14-17页 |
| 2．2．1． 低压化学气相沉积（LPCVD） | 第15页 |
| 2．2．2． 催化化学气相沉积（cat-CVD） | 第15-16页 |
| 2．2．3． 固相晶化（SPS）非晶硅 | 第16页 |
| 2．2．4． 激光晶化（LC） | 第16-17页 |
| 2．3． 金属诱导非晶态硅低温晶化法制备多晶硅 | 第17-20页 |
| 2．4． 金属诱导非晶态硅低温晶化的机理 | 第20-23页 |
| 2．4．1． 金属在低温诱导中的作用 | 第20-22页 |
| 2．4．2． 金属诱导的反应动力学解释 | 第22-23页 |
| 2．5． 金属诱导非晶态制备多晶硅薄膜的性能 | 第23-24页 |
| 2．6． 金属诱导晶化非晶态的应用 | 第24-26页 |
| 2．7． 柱状结构的制备与沉积机制 | 第26-30页 |
| 2．7．1． PECVD法制备a-Si：H薄膜的生长机制 | 第27-28页 |
| 2．7．2． 柱状结构a-Si：H薄膜的生长机理 | 第28-30页 |
| 2．8． 液晶光阀 | 第30-31页 |
| 2．9． 本论文的研究目的与意义 | 第31页 |
| 参考文献 | 第31-35页 |
| 第三章 实验过程 | 第35-45页 |
| 3．1． 复合薄膜的沉积设备的设计与改造 | 第35-36页 |
| 3．2． 实验材料 | 第36-37页 |
| 3．2．1． 薄膜沉积材料 | 第36-37页 |
| 3．2．2． 基板材料 | 第37页 |
| 3．3． 测试方法 | 第37-42页 |
| 3．3．1． 膜厚测试 | 第37页 |
| 3．3．2． X射线衍射 | 第37-38页 |
| 3．3．3． X射线光电子能谱 | 第38-39页 |
| 3．3．4． 扫描电镜（SEM） | 第39-40页 |
| 3．3．5． 透射电镜（TEM） | 第40页 |
| 3．3．6． 高分辨透射电镜（HRTEM） | 第40页 |
| 3．3．7． 二次离子质谱仪（SIMS） | 第40-41页 |
| 3．3．8． 激光Raman谱 | 第41页 |
| 3．3．9． 薄膜电导率测试 | 第41-42页 |
| 3．3．10． 载流子迁移率测试 | 第42页 |
| 3．4． 薄膜样品的制备 | 第42-44页 |
| 3．4．1． Al／a-Si：H复合薄膜的沉积 | 第43页 |
| 3．4．2． Si：H／Al／a-Si：H三层复合薄膜的沉积 | 第43-44页 |
| 3．4．3． 薄膜样品的退火处理与分析测试 | 第44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 第四章 Al诱导a-Si：H的低温晶化研究 | 第45-68页 |
| 4．1． 实验结果 | 第45-48页 |
| 4．2． 分析与讨论 | 第48-66页 |
| 4．2．1． Al诱导a-Si：H低温晶化的机理 | 第48-64页 |
| 4．2．2． 退火温度与Al诱导a-Si：H晶化的关系 | 第64-65页 |
| 4．2．3． Al层厚度与Al诱导a-Si：H晶化的关系 | 第65页 |
| 4．2．4． 退火时间与Al诱导a-Si：H低温晶化的关系 | 第65-66页 |
| 4．3． 小结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 第五章 Al与a-Si:H复合薄膜的结构研究 | 第68-82页 |
| 5．1． 复合薄膜结构与讨论 | 第68-72页 |
| 5．2． 结论 | 第72-81页 |
| 参考文献 | 第81-82页 |
| 第六章 Al/a-Si:H复合薄膜的性能研究 | 第82-97页 |
| 6．1． 实验结果 | 第82-87页 |
| 6．2． 分析与讨论 | 第87-94页 |
| 6．2．1． Al/a-Si:H复合薄膜的电性能研究 | 第87-92页 |
| 6．2．2． Al/a-Si:H中的Si2p结合能研究 | 第92-94页 |
| 6．3． 小结 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-97页 |
| 第七章 柱状结构薄膜在高分辨液晶光阀光导层中的应用展望 | 第97-106页 |
| 7．1． 液晶光阀的工作原理 | 第97-99页 |
| 7．2． 光导层中载流子的横向扩散与光阀分辨率的关系 | 第99-101页 |
| 7．3． 柱状结构复合薄膜对液晶光阀分辨率的影响 | 第101-104页 |
| 7．4． 小结 | 第104页 |
| 参考文献 | 第104-106页 |
| 第八章 结论 | 第106-108页 |
| 已发表或待发表论文 | 第108-109页 |
