| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-12页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-11页 |
| ·课题来源和主要任务 | 第11-12页 |
| 2 双波长移相干涉测试原理的研究 | 第12-23页 |
| ·移相干涉基本理论 | 第12-14页 |
| ·移相干涉测量的基本原理 | 第12-13页 |
| ·常用移相算法介绍 | 第13-14页 |
| ·双波长移相干涉术的基本原理 | 第14-18页 |
| ·双波长移相干涉基本原理 | 第15-17页 |
| ·双波长移相干涉术的误差放大效应 | 第17-18页 |
| ·双波长移相干涉技术的发展 | 第18-21页 |
| ·多波长移相干涉 | 第18-19页 |
| ·基于波长移相的双波长移相干涉 | 第19-20页 |
| ·基于空间光调制器(EA-SLM)移相的双波长干涉 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 3 双波长光干涉光学系统设计 | 第23-34页 |
| ·技术指标与精度要求 | 第23页 |
| ·主体光路设计 | 第23-28页 |
| ·扩束准直系统设计 | 第24-26页 |
| ·泰曼干涉系统设计 | 第26-28页 |
| ·成像系统设计 | 第28-31页 |
| ·成像系统的模型建立 | 第28-29页 |
| ·成像系统的优化设计结果 | 第29-31页 |
| ·公差分析 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 双波长等效相位提取算法的研究 | 第34-43页 |
| ·基于高阶移相的等效波长相位提取算法 | 第34-39页 |
| ·高阶移相算法的基本原理 | 第35页 |
| ·算法仿真 | 第35-39页 |
| ·基于Carre算法的等效波长相位提取算法 | 第39-41页 |
| ·基于Carre算法的双波长算法的基本原理 | 第39-40页 |
| ·算法仿真 | 第40-41页 |
| ·不同算法的比较与分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 5 系统搭建与实验分析 | 第43-52页 |
| ·双波长移相干涉实验系统搭建 | 第43-46页 |
| ·不同波长光源的共轴调整 | 第44-45页 |
| ·干涉光路调整 | 第45-46页 |
| ·成像系统调整 | 第46页 |
| ·实验分析 | 第46-50页 |
| ·实用性实验分析 | 第46-49页 |
| ·算法精度验证 | 第49-50页 |
| ·系统误差分析 | 第50-51页 |
| ·系统误差来源 | 第51页 |
| ·系统误差抑制方法 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 6 总结与展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 附录 | 第58页 |