| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·微机电系统的定义 | 第11-12页 |
| ·微机电系统的发展历程 | 第12-14页 |
| ·微机电系统的研究内容 | 第14-16页 |
| ·基础理论研究 | 第14页 |
| ·支撑技术研究 | 第14-15页 |
| ·应用技术研究 | 第15-16页 |
| ·微机电系统的设计技术 | 第16-17页 |
| ·微机电系统设计方法的发展 | 第16页 |
| ·微机电系统的建模与仿真分析方法 | 第16-17页 |
| ·微机电系统的优化设计方法 | 第17页 |
| ·论文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 微机电系统理论基础 | 第19-30页 |
| ·尺度效应 | 第19-21页 |
| ·尺度效应对材料性能的影响 | 第20页 |
| ·尺度效应对静电特性的影响 | 第20-21页 |
| ·力学基础 | 第21-28页 |
| ·微梁 | 第21-26页 |
| ·挤压薄膜阻尼 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 MEMS 宏模型建模与仿真分析 | 第30-46页 |
| ·常见的宏建模方法 | 第30-35页 |
| ·节点分析法 | 第30-31页 |
| ·等效电路法 | 第31-34页 |
| ·黑箱分析模型法 | 第34-35页 |
| ·其他分析方法 | 第35页 |
| ·梳齿式微机械谐振器的建模与仿真分析 | 第35-40页 |
| ·梳齿式微机械谐振器的工作原理 | 第35-36页 |
| ·梳齿式微机械谐振器的动力学模型 | 第36页 |
| ·等效电路法应用分析 | 第36-38页 |
| ·耦合物理电路应用分析 | 第38-40页 |
| ·Krylov 子空间法 | 第40-42页 |
| ·Krylov 子空间法的基本原理 | 第40-41页 |
| ·基于 Krylov 子空间的 Arnoldi 算法 | 第41-42页 |
| ·多场耦合器件降阶建模实例 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 优化算法 | 第46-57页 |
| ·遗传算法 | 第46-49页 |
| ·遗传算法的基本原理 | 第47-48页 |
| ·遗传算法的基本步骤 | 第48页 |
| ·遗传算法的关键问题 | 第48-49页 |
| ·遗传多目标优化 | 第49-51页 |
| ·多目标优化的基本概念 | 第50页 |
| ·Pareto 解的概念 | 第50-51页 |
| ·多目标优化的遗传算法 | 第51页 |
| ·优化算法工具 | 第51-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 微机械加速度计建模与仿真优化分析 | 第57-83页 |
| ·微机械加速度计的工作原理 | 第57-59页 |
| ·微机械加速度计的动力学模型 | 第57-58页 |
| ·微机械加速度计的数学模型 | 第58-59页 |
| ·电容式微机械加速度计的检测原理 | 第59-63页 |
| ·变间距型电容式加速度计的基本原理 | 第60-61页 |
| ·变面积型电容式加速度计的基本原理 | 第61-63页 |
| ·静电驱动的基本定理 | 第63-66页 |
| ·平行板电容器驱动模型 | 第63-64页 |
| ·叉指式电容加速度计的驱动模型 | 第64-66页 |
| ·叉指式电容加速度计的结构设计 | 第66-73页 |
| ·折叠梁的设计 | 第67-70页 |
| ·结构粘附问题 | 第70-71页 |
| ·静电负刚度 | 第71页 |
| ·最大量程 | 第71-72页 |
| ·热分析 | 第72-73页 |
| ·叉指式电容加速度计参数优化分析 | 第73-80页 |
| ·多学科优化设计概述 | 第73-74页 |
| ·叉指式微机械加速度计两个子系统优化模型 | 第74-76页 |
| ·叉指式微机械加速度计三个子系统优化模型 | 第76-80页 |
| ·基于多目标遗传算法的叉指式微机械加速度计的优化设计 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 总结与展望 | 第83-85页 |
| ·总结 | 第83页 |
| ·展望 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |
| 附录 | 第89页 |