摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-9页 |
目录 | 第9-16页 |
第一章 绪论 | 第16-27页 |
§1.1 研究背景 | 第16-19页 |
§1.2 低Re_τ正方形截面直管道中湍流流动研究现状 | 第19-21页 |
§1.3 圆形截面管道输送过程及管壁磨损研究概述 | 第21-25页 |
§1.3.1 散料运动状态及管壁磨损 | 第21-23页 |
§1.3.2 管壁磨损量模型 | 第23-25页 |
§1.4 化学机械抛光研究现状 | 第25-26页 |
§1.5 本课题研究的来源、内容及意义 | 第26-27页 |
第二章 正方形截面直管中湍流DNS模型和数值方法 | 第27-43页 |
§2.1 非稳态项时间积分方法 | 第27-31页 |
§2.2 空间四阶离散格式 | 第31-33页 |
§2.3 离散形式微分算子的性质 | 第33-34页 |
§2.4 分数步长映射法和压力Poisson方程求解 | 第34-35页 |
§2.5 代码验证和模型校准 | 第35-38页 |
§2.5.1 计算代码精度验证 | 第35-37页 |
§2.5.2 周期边界方向长度的选择 | 第37-38页 |
§2.6 Re_τ=300时方形截面直管湍流直接数值模拟 | 第38-41页 |
§2.6.1 象限平均流场 | 第38-39页 |
§2.6.2 湍流强度 | 第39-41页 |
§2.7 本章小结 | 第41-43页 |
第三章 流固耦合数值模型和数值算法 | 第43-55页 |
§3.1 连续相控制方程及流固耦合力的计算 | 第43-46页 |
§3.1.1 连续流体模型 | 第43页 |
§3.1.2 流固耦合力计算模型 | 第43-45页 |
§3.1.3 拽力计算公式 | 第45-46页 |
§3.2 颗粒相模拟方法 | 第46-51页 |
§3.2.1 离散单元法(DEM)原理 | 第46-47页 |
§3.2.2 单元间接触的搜索 | 第47-48页 |
§3.2.3 单元间接触模型 | 第48-50页 |
§3.2.4 差分方法和时间步长的选取 | 第50-51页 |
§3.3 流固耦合算例:流化床模拟研究 | 第51-54页 |
§3.3.1 模拟工况 | 第51-52页 |
§3.3.2 模拟结果 | 第52-54页 |
§3.4 本章小结 | 第54-55页 |
第四章 圆形截面弯管中气力输送过程模拟及管壁磨损研究 | 第55-68页 |
§4.1 90°弯管内气力输送过程数值模拟 | 第55-61页 |
§4.1.1 模拟工况 | 第55-57页 |
§4.1.2 流体压力和速度分布 | 第57页 |
§4.1.3 颗粒在输送过程中的运动 | 第57-59页 |
§4.1.4 管壁磨损情况 | 第59-61页 |
§4.2 多级弯管中气力输送过程数值模拟 | 第61-67页 |
§4.2.1 模拟工况 | 第61-62页 |
§4.2.2 流体压力和速度的分布 | 第62-63页 |
§4.2.3 颗粒在输送过程中的运动 | 第63页 |
§4.2.4 管壁磨损情况 | 第63-67页 |
§4.3 本章小结 | 第67-68页 |
第五章 圆形截面弯管中砂浆输送过程模拟及管壁磨损研究 | 第68-88页 |
§5.1 90°弯管中砂浆输送过程数值模拟 | 第68-82页 |
§5.1.1 模拟工况 | 第68-69页 |
§5.1.2 颗粒运动形态及管壁磨损 | 第69-75页 |
§5.1.3 泵送速度对颗粒运动状态和管壁磨损的影响 | 第75-77页 |
§5.1.4 弯管布局对颗粒运动形态和管壁磨损的影响 | 第77-82页 |
§5.2 U形弯管中砂浆输送过程数值模拟 | 第82-86页 |
§5.2.1 模拟工况 | 第82-83页 |
§5.2.2 流体压力和速度分布 | 第83-84页 |
§5.2.3 颗粒在U形弯管中的运动特性 | 第84-85页 |
§5.2.4 管壁磨损情况 | 第85-86页 |
§5.3 本章小结 | 第86-88页 |
第六章 CMP过程中磨粒运动特性及去除率研究 | 第88-100页 |
§6.1 校正数值实验 | 第88-90页 |
§6.2 CMP模拟 | 第90-98页 |
§6.2.1 模拟工况 | 第90-92页 |
§6.2.2 物理参数的选择 | 第92-93页 |
§6.2.3 夹层流场及颗粒运动情况分析 | 第93-95页 |
§6.2.4 固态相分数和磨粒粒径对去除率的影响 | 第95-97页 |
§6.2.5 工件、抛光垫转速对去除率的影响 | 第97-98页 |
§6.3 本章小结 | 第98-100页 |
总结与展望 | 第100-104页 |
参考文献 | 第104-114页 |
附录A | 第114-117页 |
致谢 | 第117-118页 |
攻读博士期间发表论文清单 | 第118-119页 |