介电可调BMN薄膜及变容管制备研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-14页
·研究背景及意义	第9-10页
·BMN薄膜材料概况	第10-13页
·立方焦绿石结构及其特点	第10-12页
·BMN薄膜的研究现状	第12-13页
·本文的主要研究内容	第13-14页
第二章 实验方法与过程	第14-25页
·BMN靶材的制备	第14-17页
·BMN薄膜的制备	第17-18页
·电容结构BMN薄膜测试样品的制备	第18-22页
·MIM薄膜电容器结构	第18-19页
·微细加工过程	第19-21页
·电极的制备	第21-22页
·BMN薄膜的测试表征	第22-25页
第三章 BMN薄膜的制备工艺及性能研究	第25-47页
·基片温度的影响	第25-31页
·溅射功率的影响	第31-36页
·溅射气氛的影响	第36-41页
·气氛总压的影响	第41-46页
·本章小结	第46-47页
第四章 BMN薄膜介质变容管研制	第47-53页
·变容管的结构	第47-48页
·变容管的制备	第48-51页
·变容管的制备工艺流程	第48-49页
·BMN薄膜的图形化工艺研究	第49-51页
·变容管的介电性能分析	第51-52页
·本章小结	第52-53页
第五章 结论	第53-54页
致谢	第54-55页
参考文献	第55-59页
攻硕期间取得的研究成果	第59页