| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-27页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·螺旋线行波管及其慢波结构简介 | 第12-17页 |
| ·螺旋线行波管简介 | 第13-15页 |
| ·慢波结构的过热原因与影响 | 第15-17页 |
| ·螺旋线与夹持杆用材料的国内外研究现状 | 第17-23页 |
| ·螺旋线与夹持杆常用材料研究现状 | 第17-19页 |
| ·CVD金刚石在慢波结构组件中的应用 | 第19-20页 |
| ·夹持杆与螺旋线上金刚石薄膜的制备 | 第20-23页 |
| ·ANSYS有限元模拟软件简介 | 第23-25页 |
| ·有限元算法与ANSYS软件的发展历程简介 | 第23-24页 |
| ·ANSYS软件在行波管慢波结构热性能研究方面的应用 | 第24页 |
| ·ANSYS软件在HFCVD热场研究中的应用 | 第24-25页 |
| ·本课题的研究意义与主要研究内容 | 第25-27页 |
| ·本课题的研究意义 | 第25页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 ANSYS热分析的原理与方法 | 第27-41页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·传热学的基本理论 | 第27-32页 |
| ·温度场 | 第27-28页 |
| ·热传导 | 第28页 |
| ·热对流 | 第28页 |
| ·热辐射 | 第28-29页 |
| ·稳态温度场的微分方程组 | 第29-32页 |
| ·稳态温度场微分方程组的有限元表达格式 | 第32-35页 |
| ·ANSYS软件求解热分析问题的主要步骤 | 第35-37页 |
| ·前处理 | 第36页 |
| ·加载与运算 | 第36页 |
| ·后处理 | 第36-37页 |
| ·单元类型与网格划分模式 | 第37-39页 |
| ·热辐射计算模块 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第3章 陶瓷夹持杆表面金刚石薄膜涂层的设计与温度场模拟 | 第41-62页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·行波管慢波结构的温度场模拟 | 第41-47页 |
| ·模型的简化与假设说明 | 第41-43页 |
| ·建模与网格划分 | 第43-44页 |
| ·加载与运算 | 第44-45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-47页 |
| ·矩形夹持杆表面金刚石薄膜涂层的设计与温度场模拟 | 第47-54页 |
| ·矩形夹持杆有限元模型的简化与设定 | 第47页 |
| ·建模与网格划分 | 第47-48页 |
| ·加载与运算 | 第48-49页 |
| ·结果与讨论 | 第49-54页 |
| ·圆形夹持杆表面金刚石薄膜涂层的设计与温度场模拟 | 第54-58页 |
| ·圆形夹持杆有限元模型的简化与设定 | 第54-55页 |
| ·建模与网格划分 | 第55页 |
| ·加载与运算 | 第55页 |
| ·结果与讨论 | 第55-58页 |
| ·采用金刚石膜/陶瓷复合夹持杆后慢波结构的温度场 | 第58-60页 |
| ·慢波结构有限元模型的进一步简化 | 第58-59页 |
| ·慢波结构装配复合夹持后的温度场计算 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-62页 |
| 第4章 螺旋线表面金刚石薄膜涂层的设计与温度场模拟 | 第62-78页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·外圆柱面均匀包覆金刚石薄膜涂层复合螺旋线温度场模拟 | 第62-68页 |
| ·模型的简化与设定 | 第62-63页 |
| ·建模与网格划分 | 第63-64页 |
| ·加载与运算 | 第64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-68页 |
| ·外圆柱面桥墩式包覆金刚石薄膜涂层复合螺旋线温度场模拟 | 第68-74页 |
| ·模型的简化与设定 | 第68-69页 |
| ·建模与网格划分 | 第69页 |
| ·加载与运算 | 第69页 |
| ·结果与讨论 | 第69-74页 |
| ·外圆柱面非均匀包覆金刚石薄膜涂层复合螺旋线温度场模拟 | 第74-76页 |
| ·外圆柱面非均匀包覆金刚石薄膜涂层复合螺旋线的设计 | 第74-75页 |
| ·模型的建立与运算 | 第75页 |
| ·结果与讨论 | 第75-76页 |
| ·综合运用金刚石镀膜组件时慢波结构的温度场 | 第76-77页 |
| ·小结 | 第77-78页 |
| 第5章 金刚石薄膜涂层制备用竖直排布热丝CVD系统设计与模拟 | 第78-111页 |
| ·引言 | 第78-79页 |
| ·单衬底/热丝竖直排布体系的设计与衬底温度场模拟 | 第79-91页 |
| ·单衬底/热丝竖直排布体系有限元模型的建立 | 第79-81页 |
| ·单衬底体系中热丝规格的选定 | 第81-86页 |
| ·热丝温度及热丝与衬底间距对衬底温度场的影响 | 第86-87页 |
| ·单衬底体系中热丝装配参数的确定 | 第87-89页 |
| ·水冷对流强度对衬底温度场的影响 | 第89-91页 |
| ·多衬底/热丝竖直排布体系的设计与衬底温度场模拟 | 第91-109页 |
| ·多衬底/热丝竖直排布体系有限元模型的建立 | 第91-92页 |
| ·多衬底体系衬底公转可行性验证 | 第92-103页 |
| ·热丝规格及热丝温度对衬底温度场的影响 | 第103-105页 |
| ·多衬底体系装配参数的确定 | 第105-109页 |
| ·小结 | 第109-111页 |
| 结论 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-117页 |
| 致谢 | 第117页 |
