基于原子力显微镜的微区机械特性的测量技术及应用研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-12页
第1章 绪论	第12-21页
·微桥制备的研究进展及其应用	第12-14页
·微区机械特性测量技术	第14-18页
·基于原子力显微镜的微区机械特性测量	第18-19页
·本论文的主要工作内容	第19-21页
第2章 微桥制备工艺研究	第21-36页
·基本工艺	第21-25页
·工艺的优化	第25-31页
·微桥的制备结果	第31-33页
·讨论	第33-34页
·小结	第34-36页
第3章 微桥机械特性的原子力显微镜测量	第36-49页
·测量原理	第36-38页
·测量仪器和方法	第38-42页
·测量条件的优化	第42-46页
·典型微桥的基本测量结果	第46页
·讨论	第46-47页
·小结	第47-49页
第4章 微桥共振特性的仿真分析	第49-63页
·微桥振动特性的解析式计算	第49-51页
·微桥振动特性的仿真模型与分析方法	第51-53页
·仿真分析结果及讨论	第53-62页
·小结	第62-63页
第5章 总结与展望	第63-65页
·论文完成的主要工作	第63页
·论文的创新点	第63-64页
·工作展望	第64-65页
参考文献	第65-68页
攻读硕士学位期间发表的论文	第68-69页
致谢	第69页