基于白光垂直扫描干涉法测量物体微观表面形貌的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·课题背景介绍 | 第8-9页 |
| ·垂直扫描白光干涉法的测量原理 | 第9-10页 |
| ·干涉显微镜测量微观表面轮廓的发展现状 | 第10-11页 |
| ·干涉显微镜的算法概述以及测量方案 | 第11-18页 |
| ·Fourier变换法 | 第12页 |
| ·Hilbert变换法 | 第12-13页 |
| ·小波变换法 | 第13页 |
| ·空间频域算法 | 第13-14页 |
| ·重心算法 | 第14页 |
| ·相干相关算法 | 第14-15页 |
| ·移相算法 | 第15-17页 |
| ·基于采样定理的平方包络函数估计算法(SEST) | 第17-18页 |
| ·本论文算法的方案确定 | 第18页 |
| ·课题来源 | 第18页 |
| ·本论文研究重点 | 第18-20页 |
| 2 干涉显微镜的光机电系统研究 | 第20-27页 |
| ·金相显微镜的工作原理 | 第20-21页 |
| ·金相显微镜系统光路的重新设计 | 第21-26页 |
| ·Mirau型干涉显微物镜的结构参数 | 第21-23页 |
| ·光学显微镜的无限远光学系统 | 第23-24页 |
| ·Mirau型干涉显微镜系统检测示意图 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 干涉显微镜的移相系统研究 | 第27-37页 |
| ·压电陶瓷移相器的特性分析 | 第27-29页 |
| ·压电陶瓷移相器的微位移机理 | 第27-28页 |
| ·压电陶瓷移相器的基本特性 | 第28-29页 |
| ·压电陶瓷移相器的选取 | 第29-30页 |
| ·压电陶瓷移相器的标定 | 第30-36页 |
| ·白光标定压电陶瓷移相器的原理 | 第30-31页 |
| ·白光光源标定移相器的实验 | 第31-34页 |
| ·压电陶瓷移相器的非线性校正 | 第34-36页 |
| ·压电陶瓷移相器位置的确定 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 白光干涉显微镜测量微观形貌的算法研究 | 第37-54页 |
| ·干涉显微镜系统检测的原理 | 第37-41页 |
| ·白光干涉扫描法的原理 | 第37-38页 |
| ·干涉显微物镜的数学模型 | 第38-40页 |
| ·干涉显微镜测量流程 | 第40-41页 |
| ·傅里叶变换算法和空间频域算法的原理 | 第41-46页 |
| ·傅里叶变换算法的原理 | 第41-43页 |
| ·空间频域算法的原理 | 第43-46页 |
| ·傅里叶变换算法和空间频域算法的比较 | 第46-50页 |
| ·傅里叶变换算法和空间频域算法运算量比较 | 第46-47页 |
| ·傅里叶变换算法和空间频域算法误差分析 | 第47-50页 |
| ·光强高斯噪声对算法的影响 | 第47-48页 |
| ·PZT的移相误差对算法的影响 | 第48-50页 |
| ·改进的空间频域算法 | 第50-53页 |
| ·空间频域算法改进的原理 | 第50-52页 |
| ·空间频域算法改进前后测量结果的对比 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 Mirau型白光干涉显微镜的应用 | 第54-65页 |
| ·三维表面形貌评定参数 | 第54-57页 |
| ·三维表面形貌评定参数的分类 | 第54-55页 |
| ·三维表面形貌评定参数的幅度参数 | 第55-57页 |
| ·Mirau型白光干涉显微镜的性能介绍 | 第57-60页 |
| ·Mirau型白光干涉显微镜整体性能的介绍 | 第57-59页 |
| ·Mirau型白光干涉显微镜的主要技术指标 | 第59-60页 |
| ·Mirau型白光干涉显微镜测量结果分析 | 第60-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 6 全文总结 | 第65-67页 |
| ·本文所做工作 | 第65-66页 |
| ·有待研究和解决的问题 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72页 |
