| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-16页 |
| ·课题背景及意义 | 第7-8页 |
| ·白光干涉的发展现状 | 第8-10页 |
| ·薄膜厚度测量的研究现状 | 第10-14页 |
| ·测量薄膜厚度的传统光学方法 | 第10-12页 |
| ·白光迈克尔逊干涉仪和光纤光谱仪测量薄膜厚度 | 第12-13页 |
| ·白光干涉原理测量薄膜厚度 | 第13-14页 |
| ·本文的主要工作和内容安排 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 2 白光干涉测量薄膜厚度的原理与实验装置 | 第16-32页 |
| ·薄膜基本原理 | 第16-18页 |
| ·光学薄膜中的多光束干涉 | 第16-17页 |
| ·增透膜 | 第17-18页 |
| ·增反膜 | 第18页 |
| ·半波膜 | 第18页 |
| ·白光干涉测量原理 | 第18-22页 |
| ·激光光源与白光光源 | 第18-19页 |
| ·白光干涉垂直扫描系统分类 | 第19-21页 |
| ·白光干涉垂直扫描系统测量表面形貌的原理 | 第21-22页 |
| ·改进的Mirau型白光干涉垂直扫描系统 | 第22-29页 |
| ·实验装置简介 | 第22-24页 |
| ·PZT位移量的标定 | 第24-29页 |
| ·薄膜测厚原理 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 膜厚测试的算法 | 第32-41页 |
| ·白光干涉光强的模拟 | 第32-34页 |
| ·光谱带宽对光强分布的影响 | 第32-33页 |
| ·改进的Mirau型白光干涉垂直扫描系统的理论光强 | 第33-34页 |
| ·白光干涉测量薄膜厚度的光强曲线 | 第34-35页 |
| ·峰值提取算法 | 第35-40页 |
| ·峰值匹配算法 | 第35-38页 |
| ·改进的峰值匹配算法 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 实验过程及结果比对 | 第41-53页 |
| ·样品准备 | 第41-44页 |
| ·真空镀膜机工作原理 | 第41-42页 |
| ·试验中使用的薄膜样品的制备 | 第42-44页 |
| ·测试结果 | 第44-50页 |
| ·峰值匹配算法的结果 | 第44-47页 |
| ·改进的峰值匹配算法的结果 | 第47-50页 |
| ·比对测试 | 第50页 |
| ·误差分析 | 第50-52页 |
| ·PZT移相步长的大小造成的影响 | 第50-51页 |
| ·移相器的误差 | 第51页 |
| ·拉伸或压缩光强曲线引入的误差 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 结束语 | 第53-55页 |
| ·本文工作总结 | 第53页 |
| ·不足和展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录 | 第60-61页 |