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InGaN/GaN多量子阱太阳电池的器件研制

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-8页
目录第8-11页
第一章 绪论第11-24页
   ·研究背景第11-15页
     ·引言第11-12页
     ·InGaN材料特性及其应用于光伏领域的优势第12-15页
   ·InGaN基太阳电池的研究现状第15-21页
     ·结构第15-17页
     ·电流扩展层第17-18页
     ·量子效率第18页
     ·聚光第18-21页
   ·InGaN基太阳电池存在的问题第21-22页
     ·欧姆接触第21页
     ·p-GaN表而缺陷第21页
     ·电流扩展层第21-22页
     ·芯片尺寸第22页
     ·聚光第22页
   ·本论文的内容安排第22-23页
   ·本章小结第23-24页
第二章 半导体太阳电池工作原理、模型及设备简介第24-35页
   ·半导体太阳电池工作原理及理论模型第24-27页
     ·太阳电池的工作原理第24-25页
     ·太阳电池的理论模型第25-27页
   ·太阳电池的性能表征参数第27-30页
     ·单个太阳下太阳电池的性能表征参数第27-29页
     ·聚光太阳电池的各性能参数第29-30页
   ·太阳电池制备工艺主要设备及性能测试系统第30-32页
     ·光刻机第30-31页
     ·刻蚀第31-32页
   ·太阳电池性能的测试第32-34页
     ·空气质量和太阳光谱第33页
     ·测试系统第33-34页
   ·本章小结第34-35页
第三章 p-GaN欧姆接触的优化第35-42页
   ·金属-半导体接触第35-36页
   ·比接触电阻及其测量第36-38页
   ·p-GaN接触的制备及测量结果第38-41页
   ·本章小结第41-42页
第四章 InGaN/GaN多量子阱太阳电池的结构及制备第42-53页
   ·InGaN/GaN多量了阱外延片表征第42-45页
   ·InGaN/GaN多量子阱太阳电池的制备第45-52页
     ·外延片背而减薄、研磨第45页
     ·外延片表而清洗第45-46页
     ·台而刻蚀第46-48页
     ·电流扩展层ITO工艺第48-49页
     ·n-电极与p-电极制备第49-50页
     ·太阳电池芯片第50-52页
   ·本章小结第52-53页
第五章 InGaN/GaN多量子阱太阳电池的光伏特性第53-68页
   ·ITO电流扩展层对InGaN/GaN多量子阱太阳电池的影响第53-56页
   ·p-GaN表而V型坑(V-pit)密度对太阳电池性能的影响第56-58页
   ·含ITO电流扩展层的InGaN/GaN多量子阱太阳电池的聚光特性第58-65页
     ·含ITO电流扩展层的InGaN/GaN多量子阱太阳电池在一个太阳下的特性第58-62页
     ·含ITO电流扩展层的InGaN/GaN多量子阱太阳电池的聚光特性第62-65页
   ·芯片尺寸对InGaN/GaN多量子阱太阳电池电流密度-电压特性的影响第65-66页
   ·本章小结第66-68页
第六章 结论及展望第68-70页
   ·本论文的主要研究内容及结论第68-69页
   ·不足之处及展望第69-70页
参考文献第70-78页
致谢第78-79页
攻读硕士期间发表的论文第79页

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