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微梁阵列生化传感器设计及应用

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 绪论第12-38页
   ·引言第12页
   ·生化传感器第12-14页
   ·基于MEMS的微梁传感技术第14-22页
     ·MEMS技术第14-16页
     ·微梁传感技术第16-17页
     ·微梁传感器的工作原理第17-19页
       ·静态工作模式第18页
       ·动态工作模式第18-19页
     ·微梁的激励和检测方法第19-22页
       ·微梁的激励方法第19页
       ·微梁的检测方法第19-22页
   ·微梁生化传感器第22-26页
     ·微梁生化传感器发展历史第22-24页
     ·微梁生化传感器的应用第24-25页
       ·气体分子检测第24页
       ·重金属离子检测第24页
       ·药物残留检测第24页
       ·抗原抗体检测第24-25页
       ·DNA检测第25页
       ·细菌、病毒检测第25页
       ·其他研究应用第25页
     ·微梁阵列生化传感器第25-26页
   ·本文的主要工作第26-27页
 参考文献第27-38页
第二章 单微梁传感系统性能改进与应用第38-66页
   ·引言第38-39页
   ·光电位置敏感探测器第39-42页
     ·连续型PSD第39-41页
     ·分节型PSD第41-42页
   ·背景光对系统检测灵敏度的影响第42-43页
   ·生化反应池设计第43-45页
   ·微梁温变响应分析及微梁温度传感器的研制第45-62页
     ·基于光杠杆读出的微梁温度传感器研制意义第46页
     ·双材料微梁热变形分析第46-49页
     ·系统结构设计与集成第49-56页
     ·实验测试第56-62页
       ·稳定性测试第57-58页
       ·线性测温范围测试第58-59页
       ·重复性、迟滞性测试第59-61页
       ·灵敏度和分辨力测试第61-62页
     ·结论第62页
   ·本章小结第62-63页
 参考文献第63-66页
第三章 微梁阵列生化传感器设计第66-86页
   ·引言第66-68页
   ·CCD成像式检测方案尝试第68-70页
   ·多激光器时序照射检测法第70-71页
   ·光纤阵列时序照射检测法第71-73页
   ·声光扫描检测法第73-75页
   ·数字微镜切换照射检测法第75-76页
   ·压电扫描检测法第76-82页
     ·系统设计第77-78页
     ·实验测试第78-81页
       ·稳定性测试第78-79页
       ·可靠性测试第79-80页
       ·系统标定第80-81页
     ·结果与讨论第81-82页
     ·结论第82页
   ·本章小结第82-83页
 参考文献第83-86页
第四章 压电扫描式微梁阵列生化传感器应用第86-98页
   ·引言第86页
   ·微梁生化检测原理第86-87页
   ·系统设计第87-88页
   ·性能测试第88-91页
     ·稳定性测试第88-89页
     ·阵列信号一致性测试第89-90页
     ·系统标定第90-91页
   ·特异性生化反应检测第91-95页
     ·实验试剂第92页
     ·微梁阵列上抗体的修饰第92-94页
     ·微梁阵列检测结果与讨论第94-95页
     ·结论第95页
   ·本章小结第95-96页
 参考文献第96-98页
第五章 总结与展望第98-102页
   ·全文工作总结第98-99页
   ·未来工作展望第99-102页
致谢第102-104页
附录:作者攻读博士学位期间已发表或完成工作第104-105页

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