基于AFM的纳米机械刻划切屑形成过程试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·基于SPM 的纳米加工技术研究现状 | 第8-14页 |
| ·基于扫描探针的加工方法 | 第9-13页 |
| ·基于AFM 的加工技术特点 | 第13-14页 |
| ·本课题研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 基于AFM 的机械刻划加工机理 | 第15-23页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·AFM 工作原理及机械刻划过程的实现 | 第15-17页 |
| ·原子力显微镜组成 | 第15-16页 |
| ·针尖与试件间的作用力 | 第16-17页 |
| ·AFM 机械刻划过程的实现 | 第17页 |
| ·基于AFM 刻划过程分析 | 第17-19页 |
| ·针尖压入过程 | 第17-18页 |
| ·针尖作用下材料的变形分析 | 第18-19页 |
| ·AFM 针尖刻划机理分析 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 第3章 AFM 刻划中切屑形成影响因素研究 | 第23-37页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·机械刻划实验准备 | 第23-25页 |
| ·样品的制备 | 第23-24页 |
| ·金刚石针尖特点 | 第24-25页 |
| ·刻划实验步骤 | 第25页 |
| ·刻划加工参数对切屑形成的影响 | 第25-35页 |
| ·进给量对切屑的影响 | 第25-27页 |
| ·刻划速度对切屑的影响 | 第27-28页 |
| ·垂直载荷对切屑的影响 | 第28-30页 |
| ·循环次数对切屑的影响 | 第30-31页 |
| ·不同进给方向变载荷对切屑的影响 | 第31-33页 |
| ·不同材料的对比试验 | 第33-35页 |
| ·AFM 纳米刻划加工中的影响因素 | 第35-36页 |
| ·试件表面性质对加工影响 | 第36页 |
| ·电磁噪声对加工影响 | 第36页 |
| ·针尖状态对加工的影响 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 基于AFM 机械刻划的最小切削厚度研究 | 第37-45页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·基于AFM 刻划实验最小切削厚度形成分析 | 第37-39页 |
| ·基于AFM 刻划最小切削厚度试验 | 第39-44页 |
| ·铜试件上的刻划试验 | 第39-42页 |
| ·铝试件上的刻划试验 | 第42-44页 |
| ·基于AFM 机械刻划最小切削厚度影响因素 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
