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变模型增益指数加权移动平均控制器研究

摘要第1-5页
Abstract第5-6页
致谢第6-7页
目录第7-9页
第一章 绪论第9-23页
   ·引言第9-10页
   ·Run-to-Run控制产生背景第10-12页
   ·文献回顾第12-13页
   ·Run-to-Run控制器的结构第13-14页
   ·Run-to-Run控制研究现状第14-17页
   ·Run-to-Run控制的应用现状第17-19页
   ·本文结构第19页
 参考文献第19-23页
第二章 EWMA类控制器回顾第23-33页
   ·指数加权移动平均控制算法第23-26页
     ·单变量指数加权移动平均控制算法第23-25页
     ·指数加权移动平均控制算法稳定性分析第25-26页
   ·双指数加权移动平均控制算法第26-31页
     ·单变量双指数加权移动平均控制算法第26-29页
     ·多变量双指数加权移动平均控制算法第29-30页
     ·多变量双指数加权移动平均控制算法稳定性分析第30-31页
 参考文献第31-33页
第三章 变模型增益EWMA控制算法第33-41页
   ·引言第33-34页
   ·非线性过程对象第34-35页
   ·变模型增益指数加权移动平均算法第35-36页
   ·基于岭回归的变模型增益指数加权移动平均算法第36-37页
   ·指数加权矩阵的选取第37-39页
 参考文献第39-41页
第四章 仿真实验第41-55页
   ·引言第41-42页
   ·化学机械抛光过程简介第42-46页
     ·化学机械抛光的架构第42-43页
     ·化学机械抛光过程的变量第43-44页
     ·化学机械抛光过程模型第44-46页
   ·单输入单输出对象仿真第46-50页
     ·线性单输入单输出对象仿真第46-48页
     ·非线性单输入单输出对象仿真第48-50页
   ·非线性多输入多输出对象仿真第50-54页
   ·小结第54页
 参考文献第54-55页
第五章 Run-to-Run控制软件设计第55-64页
   ·引言第55页
   ·软件设计任务第55-56页
   ·软件设计结构第56-62页
     ·软件总体运行框图第56-57页
     ·加载模块第57-58页
     ·控制算法第58-60页
     ·数据库接口第60-61页
     ·显示模块第61-62页
   ·运行环境第62页
 参考文献第62-64页
第六章 总结与展望第64-67页
   ·工作总结第64-65页
   ·研究展望第65-67页
作者简介第67页
作者在攻读硕士期间录用发表的论文第67页

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