变模型增益指数加权移动平均控制器研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 致谢 | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·Run-to-Run控制产生背景 | 第10-12页 |
| ·文献回顾 | 第12-13页 |
| ·Run-to-Run控制器的结构 | 第13-14页 |
| ·Run-to-Run控制研究现状 | 第14-17页 |
| ·Run-to-Run控制的应用现状 | 第17-19页 |
| ·本文结构 | 第19页 |
| 参考文献 | 第19-23页 |
| 第二章 EWMA类控制器回顾 | 第23-33页 |
| ·指数加权移动平均控制算法 | 第23-26页 |
| ·单变量指数加权移动平均控制算法 | 第23-25页 |
| ·指数加权移动平均控制算法稳定性分析 | 第25-26页 |
| ·双指数加权移动平均控制算法 | 第26-31页 |
| ·单变量双指数加权移动平均控制算法 | 第26-29页 |
| ·多变量双指数加权移动平均控制算法 | 第29-30页 |
| ·多变量双指数加权移动平均控制算法稳定性分析 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-33页 |
| 第三章 变模型增益EWMA控制算法 | 第33-41页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·非线性过程对象 | 第34-35页 |
| ·变模型增益指数加权移动平均算法 | 第35-36页 |
| ·基于岭回归的变模型增益指数加权移动平均算法 | 第36-37页 |
| ·指数加权矩阵的选取 | 第37-39页 |
| 参考文献 | 第39-41页 |
| 第四章 仿真实验 | 第41-55页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·化学机械抛光过程简介 | 第42-46页 |
| ·化学机械抛光的架构 | 第42-43页 |
| ·化学机械抛光过程的变量 | 第43-44页 |
| ·化学机械抛光过程模型 | 第44-46页 |
| ·单输入单输出对象仿真 | 第46-50页 |
| ·线性单输入单输出对象仿真 | 第46-48页 |
| ·非线性单输入单输出对象仿真 | 第48-50页 |
| ·非线性多输入多输出对象仿真 | 第50-54页 |
| ·小结 | 第54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第五章 Run-to-Run控制软件设计 | 第55-64页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·软件设计任务 | 第55-56页 |
| ·软件设计结构 | 第56-62页 |
| ·软件总体运行框图 | 第56-57页 |
| ·加载模块 | 第57-58页 |
| ·控制算法 | 第58-60页 |
| ·数据库接口 | 第60-61页 |
| ·显示模块 | 第61-62页 |
| ·运行环境 | 第62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-67页 |
| ·工作总结 | 第64-65页 |
| ·研究展望 | 第65-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
| 作者在攻读硕士期间录用发表的论文 | 第67页 |
