相位光栅的设计及其在激光束相干合成中的应用
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·二元光学发展及其应用概况 | 第8-12页 |
| ·二元光学简介 | 第8-10页 |
| ·国内外研究概况 | 第10-11页 |
| ·二元光学的应用 | 第11-12页 |
| ·本论文研究的目的和意义 | 第12-14页 |
| ·衍射光学元件实现光束叠加的可行性分析 | 第14-17页 |
| ·微透镜阵列实现光束叠加 | 第14-15页 |
| ·相位光栅实现光束叠加 | 第15-17页 |
| ·本论文的主要工作及内容安排 | 第17-19页 |
| 第二章 二元光学元件的设计理论 | 第19-43页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·光栅的标量衍射理论基础 | 第19-23页 |
| ·衍射与衍射光栅 | 第23-29页 |
| ·衍射现象与衍射光栅的作用 | 第23-25页 |
| ·衍射光的强度分布和衍射效率 | 第25-29页 |
| ·衍射光的强度分布 | 第25-28页 |
| ·衍射效率 | 第28-29页 |
| ·大规模优化算法研究 | 第29-42页 |
| ·二元光学的设计理论 | 第29-31页 |
| ·算法描述 | 第31-32页 |
| ·DOE设计的优化算法 | 第32-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第三章 相位光栅的设计和制作工艺研究 | 第43-71页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·二元相位光栅的设计方法 | 第43-60页 |
| ·相位光栅的衍射效率 | 第43-45页 |
| ·相位光栅的优化设计方法 | 第45-60页 |
| ·二值相位光栅设计原理简述 | 第45-46页 |
| ·二维相位光栅的设计方法 | 第46-54页 |
| ·优化设计结果 | 第54-60页 |
| ·相位光栅设计程序 | 第60-63页 |
| ·相位光栅的制作技术 | 第63-69页 |
| ·灰度掩模的制作 | 第63-67页 |
| ·衍射光学元件的制作工艺 | 第67-69页 |
| ·利用灰度光刻制作相位光栅的初步研究 | 第69-70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| 第四章 相位光栅用于束叠加的模拟分析 | 第71-110页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·ICF系统中的光束相干叠加 | 第71-84页 |
| ·ICF系统中光路的分析 | 第71-83页 |
| ·1×2光束的合束 | 第72-77页 |
| ·1×4光束的合束 | 第77-80页 |
| ·2×2光束的合束 | 第80-83页 |
| ·相位光栅合束作用的定性解释 | 第83-84页 |
| ·相位光栅用于束叠加的误差分析 | 第84-109页 |
| ·光栅倾斜的影响 | 第84-93页 |
| ·一束平行光照射相位光栅的情况 | 第84-89页 |
| ·倾斜的相位光栅对相干并束的影响 | 第89-93页 |
| ·光栅横向宽度误差的影响 | 第93-95页 |
| ·刻蚀深度误差的影响 | 第95-98页 |
| ·耦合光束的相对相位偏差对耦合效率的影响 | 第98-100页 |
| ·非等强耦合光束相对振幅变化对耦合效率的影响 | 第100-104页 |
| ·可均匀分束的相位光栅 | 第100-102页 |
| ·分束不均匀光栅 | 第102-103页 |
| ·相干并束的各束入射光强度有随机起伏 | 第103-104页 |
| ·相干光并束的系统鲁棒性研究 | 第104-109页 |
| ·1×4光束合束 | 第105-106页 |
| ·2×2光束合束 | 第106-109页 |
| ·小结 | 第109-110页 |
| 第五章 总结 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 附录 | 第119-121页 |
