摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-9页 |
1 绪论 | 第9-15页 |
·金刚石薄膜的概述 | 第9-12页 |
·金刚石的结构 | 第9-10页 |
·金刚石薄膜的性能和应用 | 第10-12页 |
·金刚石薄膜的制备 | 第12-14页 |
·气相沉积 | 第12-13页 |
·液相电化学沉积 | 第13-14页 |
·本论文的研究目的和研究内容 | 第14-15页 |
2 无定形金刚石薄膜制备及分析方法 | 第15-26页 |
·无定形金刚石薄膜制备 | 第15-20页 |
·实验装置 | 第15-16页 |
·工艺流程 | 第16页 |
·工艺参数 | 第16-20页 |
·分析方法 | 第20-26页 |
·形貌分析 | 第20-22页 |
·结构分析 | 第22-24页 |
·力学性能分析 | 第24-26页 |
3 添加剂对液相电沉积无定形金刚石薄膜的影响 | 第26-48页 |
·去离子水的影响 | 第26-35页 |
·电流密度 | 第26-29页 |
·表面形貌 | 第29-30页 |
·微观结构 | 第30-33页 |
·力学性能 | 第33-35页 |
·去离子水和六甲基二硅氧烷(C_6H_(18)OSi_2)的共同影响 | 第35-46页 |
·电流密度 | 第35-37页 |
·表面形貌 | 第37-41页 |
·微观结构 | 第41-45页 |
·力学性能 | 第45-46页 |
·讨论 | 第46-47页 |
·结论 | 第47-48页 |
4 成膜机理和添加剂的作用 | 第48-51页 |
·成膜机理 | 第48-49页 |
·添加剂的作用 | 第49-50页 |
·结论 | 第50-51页 |
总结论 | 第51-52页 |
参考文献 | 第52-55页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
致谢 | 第56-57页 |