基于纳米硅尖场发射的微真空传感器的初步研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-11页 |
| 第一章 前言 | 第11-19页 |
| ·微型真空传感器的发展概况 | 第11-16页 |
| ·本研究课题的提出背景 | 第16-17页 |
| ·本文的研究目标与主要工作 | 第17-19页 |
| 第二章 场发射真空传感器的设计 | 第19-31页 |
| ·场致发射原理与传感器工作机制 | 第19-24页 |
| ·场发射真空传感器的结构设计 | 第24-31页 |
| ·场发射真空传感器的结构 | 第24-25页 |
| ·阴极发射材料以及阳极衬底材料的选取 | 第25页 |
| ·硅尖阵列的设计 | 第25-29页 |
| ·阴阳极间距的设计 | 第29-31页 |
| 第三章 场发射真空传感器的制作工艺 | 第31-74页 |
| ·工艺流程的设计 | 第31-36页 |
| ·掩模图形的设计 | 第36-39页 |
| ·阴极硅尖阵列的制作 | 第39-48页 |
| ·支撑台制作的实验过程 | 第39-44页 |
| ·硅尖阵列制作的实验过程 | 第44-48页 |
| ·金属阳极的制作工艺 | 第48-50页 |
| ·键合以及阴极引出电极的制作 | 第50-54页 |
| ·带栅极硅尖阵列的制备 | 第54-74页 |
| ·平面栅极技术带栅极硅尖阵列的制备方法 | 第54-56页 |
| ·无版光刻技术制备带栅极硅尖阵列 | 第56-59页 |
| ·自对准技术制备带栅极硅尖阵列 | 第59-74页 |
| 第四章 场发射真空传感器的测试与分析 | 第74-91页 |
| ·传感器的Ⅰ-Ⅴ特性测试 | 第74-77页 |
| ·真空传感器性能测试系统的搭建 | 第77-78页 |
| ·场发射电流迟滞与衰减现象测试 | 第78-80页 |
| ·不同真空度下的输入-输出特性测试 | 第80-82页 |
| ·传感器输出电流与真空度之间的关系 | 第82-91页 |
| 第五章 总结与展望 | 第91-93页 |
| ·总结 | 第91-92页 |
| ·展望 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 硕士期间科研成果 | 第98页 |
