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三轴高g值加速传感器灵敏度校准及横向效应研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-16页
   ·课题背景第9页
   ·国内外研究现状第9-14页
     ·国外研究状况第10-12页
     ·国内研究状况第12-14页
   ·课题研究目的及意义第14-15页
   ·本文主要研究内容第15-16页
第二章 压阻式加速度传感器工作原理第16-21页
   ·压阻式加速度传感器第16-18页
     ·压阻效应及分类第16页
     ·工作原理第16-18页
   ·加速度传感器的灵敏度第18-19页
     ·灵敏度的定义第18页
     ·加速度传感器灵敏度的两种表示方法第18-19页
     ·横向灵敏度第19页
   ·本章小结第19-21页
第三章 三轴加速度计结构及横向输出特性分析第21-28页
   ·三轴压阻式加速度计结构第21-24页
     ·X ,Y 轴模型简介第22-23页
     ·Z 轴模型简介第23页
     ·三轴加速度计等效输出电路第23-24页
   ·压阻式加速度计横向灵敏度及产生原因第24-27页
     ·传感器的横向灵敏度比第24-25页
     ·硅微压阻式加速度计横向灵敏度产生原因第25-27页
   ·本章小结第27-28页
第四章 三轴高g 值加速度计校准系统第28-36页
   ·校准系统介绍第28-32页
     ·校准系统组成第28-32页
     ·工作过程第32页
   ·校准原理第32-35页
   ·本章小结第35-36页
第五章 相位求导法解算多普勒信号第36-44页
   ·最小二乘法消除趋势项第36-39页
   ·幅值归一化处理第39-40页
   ·解算多普勒频移信号第40-41页
   ·加速度计的运动速度及加速度第41-42页
   ·本章小结第42-44页
第六章 三轴加速度计校准结果及分析第44-62页
   ·三轴加速度传感器灵敏度校准结果及分析第44-50页
   ·三轴加速度传感器横向灵敏度结果及分析第50-56页
     ·横向灵敏度实验结果第51-55页
     ·利用马歇特锤对三轴加速度计横向灵敏度测试第55-56页
   ·传感器横向灵敏度理论改进方法第56-60页
     ·对称结构法降低传感器灵敏度第57页
     ·阵列传感器系统降低传感器灵敏度第57-60页
   ·本章小结第60-62页
第七章 结论第62-64页
   ·研究工作总结第62页
   ·下一步的工作设想第62-64页
参考文献第64-68页
硕士期间发表的论文及参与课题情况第68-69页
致谢第69页

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