大过载压阻式加速度计设计、封装与测试
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-20页 |
| ·国外研究现状 | 第10-16页 |
| ·国内研究现状 | 第16-20页 |
| ·论文的主要工作 | 第20-22页 |
| 2 大过载加速度计结构设计与理论分析 | 第22-39页 |
| ·结构选择 | 第22-25页 |
| ·基本力学概念 | 第22-25页 |
| ·压阻式加速度计结构分析与设计 | 第25-33页 |
| ·压阻式加速度计膜结构分析 | 第25-26页 |
| ·电压输出与压阻系数关系 | 第26-30页 |
| ·压阻式加速度计数学模型 | 第30-31页 |
| ·压阻式加速度计应力计算 | 第31-32页 |
| ·压阻式加速度计的固有频率 | 第32-33页 |
| ·压阻设计 | 第33-38页 |
| ·力敏电阻的阻值设计 | 第34-35页 |
| ·力敏电阻的宽度 | 第35页 |
| ·电阻条的图形 | 第35-36页 |
| ·引线孔的设计 | 第36-37页 |
| ·压阻电桥晶向排列 | 第37-38页 |
| ·小结 | 第38-39页 |
| 3 大过载加速度计有限元仿真 | 第39-56页 |
| ·有限元法简介 | 第39-42页 |
| ·有限元法基本思想 | 第39-41页 |
| ·有限元软件 | 第41-42页 |
| ·有限元仿真 | 第42-54页 |
| ·模态仿真 | 第42-46页 |
| ·静态仿真 | 第46-54页 |
| ·仿真中遇到的问题 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 4 大过载加速度计的工艺实现 | 第56-70页 |
| ·用到的关键工艺 | 第56-61页 |
| ·光刻工艺 | 第56-58页 |
| ·KOH 腐蚀 | 第58-59页 |
| ·干法刻蚀 | 第59-60页 |
| ·阳极键合 | 第60-61页 |
| ·压阻条制备工艺 | 第61页 |
| ·工艺流程设计 | 第61-67页 |
| ·工艺流程设计原则 | 第61-62页 |
| ·大过载压阻式加速度计工艺流程 | 第62-65页 |
| ·光刻版图设计 | 第65-67页 |
| ·工艺过程的监控和测量 | 第67-69页 |
| ·厚度测量 | 第67-68页 |
| ·铝引线 | 第68-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 5 大过载加速度计的封装 | 第70-79页 |
| ·大过载加速度计封装的意义 | 第70-72页 |
| ·塑封封装 | 第72-74页 |
| ·封装过程 | 第72-74页 |
| ·金属壳体灌封 | 第74-78页 |
| ·灌封胶选择 | 第74-75页 |
| ·封装过程 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 6 大过载加速度计的测试 | 第79-85页 |
| ·热塑封效果分析 | 第79-81页 |
| ·金属壳体封装后测试 | 第81-84页 |
| ·零点输出测量 | 第81页 |
| ·冲击测试 | 第81-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 7 总结与展望 | 第85-87页 |
| ·总结 | 第85-86页 |
| ·展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的成果 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
