多孔硅光子晶体的气体传感技术的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-26页 |
| ·选题的背景与意义 | 第13-16页 |
| ·有机蒸汽测量的重要性 | 第13-14页 |
| ·现行的有机蒸气探测的主要方法 | 第14-15页 |
| ·设计多孔硅气体传感器的意义 | 第15-16页 |
| ·多孔硅材料及多孔硅光子晶体的研究进展 | 第16-23页 |
| ·多孔硅材料简介 | 第16-17页 |
| ·多孔硅材料的应用 | 第17-19页 |
| ·多孔硅材料的制备 | 第19-20页 |
| ·多孔硅材料的后处理方法 | 第20-21页 |
| ·多孔硅材料为基础的光子晶体技术的进展 | 第21-23页 |
| ·多孔硅气体传感器应用中存在的主要问题 | 第23-24页 |
| ·课题研究的主要内容和关键技术 | 第24-26页 |
| 第2章 一维多孔硅光子晶体的光学理论基础 | 第26-66页 |
| ·多孔硅材料的半导体物理学基础 | 第26-29页 |
| ·光学常数的定义 | 第26-29页 |
| ·光学常数之间的关系 | 第29页 |
| ·多孔硅材料光学常数的计算方法 | 第29-36页 |
| ·有效介电常数近似理论 | 第30-33页 |
| ·光学常数的实验确定方法 | 第33-36页 |
| ·一维光子晶体的光学传输理论 | 第36-46页 |
| ·平面波展开法 | 第36-40页 |
| ·传输矩阵法 | 第40-45页 |
| ·时域有限差分法 | 第45-46页 |
| ·一维多孔硅光子晶体的光学特性研究 | 第46-65页 |
| ·一维多孔硅光子晶体的传输矩阵方法 | 第46-48页 |
| ·多孔硅Bragg 反射镜的光学特性 | 第48-52页 |
| ·多孔硅微腔的光学特性 | 第52-61页 |
| ·一维多孔硅光子量子阱结构的光学特性 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第3章 一维多孔硅光子晶体气体传感系统的设计 | 第66-86页 |
| ·一维多孔硅光子晶体气体传感系统的总体结构 | 第66-67页 |
| ·敏感元件的设计原理 | 第67-80页 |
| ·敏感元件的有机蒸汽吸附机制 | 第67-73页 |
| ·敏感元件的理论传感模型 | 第73-80页 |
| ·光学测量系统的设计 | 第80-83页 |
| ·传感用光源 | 第80页 |
| ·传感系统的光学器件选择 | 第80-82页 |
| ·光纤连接耦合 | 第82-83页 |
| ·自动配气系统的设计 | 第83-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第4章 一维多孔硅光子晶体气体传感器的实验研究 | 第86-115页 |
| ·单层多孔硅材料的实验研究 | 第86-99页 |
| ·实验仪器简介 | 第86-91页 |
| ·多孔硅的制备过程 | 第91-92页 |
| ·实验结果与分析 | 第92-99页 |
| ·一维多孔硅光子晶体的制备实验 | 第99-102页 |
| ·正交实验法优化制备条件 | 第99-101页 |
| ·脉冲电化学腐蚀法制备一维多孔硅光子晶体 | 第101页 |
| ·一维多孔硅光子晶体的结构表征 | 第101-102页 |
| ·一维多孔硅光子晶体的传感特性实验 | 第102-113页 |
| ·有机物蒸汽种类辨别实验 | 第102-104页 |
| ·有机物蒸汽浓度测量实验 | 第104-107页 |
| ·时间变化反射谱测量实验 | 第107页 |
| ·传感响应测试实验 | 第107-111页 |
| ·实验数据处理和分析 | 第111-112页 |
| ·误差分析 | 第112-113页 |
| ·本章小结 | 第113-115页 |
| 结论 | 第115-118页 |
| 参考文献 | 第118-125页 |
| 攻读博士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 作者简介 | 第127页 |
