采用MEMS技术研制聚酰亚胺湿度传感器
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-11页 |
| ·课题背景 | 第7页 |
| ·湿度传感器在生产生活中的应用及意义 | 第7-8页 |
| ·课题相关领域发展现状 | 第8-10页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 第2章 湿度传感器原理及分类 | 第11-19页 |
| ·伸缩式湿度传感器 | 第11页 |
| ·蒸发式湿度传感器 | 第11-12页 |
| ·露点传感器 | 第12-13页 |
| ·微湿度传感器 | 第13-18页 |
| ·其它类湿度传感器 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 电容湿度传感器的设计与分析 | 第19-25页 |
| ·湿度传感器结构设计 | 第19-20页 |
| ·湿度传感器的理论模型推导及计算 | 第20-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第4章 电容式湿度传感器接口电路设计 | 第25-39页 |
| ·运算放大器的设计 | 第25-28页 |
| ·钟控比较器的设计 | 第28-30页 |
| ·开关电容接口电路 | 第30-31页 |
| ·多谐振荡接口电路 | 第31-34页 |
| ·电荷DELTA-SIGMA 调制器电路 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第5章 MEMS 湿度传感器工艺设计 | 第39-51页 |
| ·湿度传感器的工艺流程 | 第39-40页 |
| ·湿度传感器研制的主要工艺原理 | 第40-49页 |
| ·湿度传感器的工艺版图 | 第49页 |
| ·工艺过程中的注意事项 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第6章 MEMS 湿度传感器的性能测试 | 第51-58页 |
| ·灵敏度测试 | 第52-53页 |
| ·线性度测试 | 第53-55页 |
| ·迟滞特性测试 | 第55-56页 |
| ·测试过程中注意事项 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第66-67页 |
| 附录 | 第67-75页 |
