| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| §1-1 太阳电池发展的必要性 | 第8-9页 |
| §1-2 太阳电池的发展历程 | 第9页 |
| §1-3 太阳电池的研究现状 | 第9-15页 |
| 1-3-1 晶体硅太阳电池 | 第10-13页 |
| 1-3-2 多晶硅薄膜太阳电池 | 第13-14页 |
| 1-3-3 非晶硅太阳电池 | 第14页 |
| 1-3-4 化合物太阳电池 | 第14-15页 |
| §1-4 太阳电池的发展趋势 | 第15页 |
| §1-5 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 参考文献 | 第17-19页 |
| 第二章 实验工艺及测试方法 | 第19-27页 |
| §2-1 实验工艺 | 第19页 |
| 2-1-1 样品预处理 | 第19页 |
| 2-1-2 酸腐多晶硅表面织构的制备 | 第19页 |
| 2-1-3 PECVD 氮化硅薄膜的制备 | 第19页 |
| §2-2 测试方法 | 第19-26页 |
| 2-2-1 太阳电池光谱响应系统 | 第20-21页 |
| 2-2-2 准稳态光电导衰减仪 | 第21-22页 |
| 2-2-3 原子力显微镜 | 第22-23页 |
| 2-2-4 椭圆偏振仪 | 第23-25页 |
| 2-2-5 扫描电镜(SEM) | 第25-26页 |
| 参考文献 | 第26-27页 |
| 第三章 酸腐多晶硅表面织构的研究 | 第27-44页 |
| §3-1 引言 | 第27-30页 |
| 3-1-1 反应离子腐蚀 | 第27-28页 |
| 3-1-2 激光织构 | 第28页 |
| 3-1-3 多孔硅 | 第28页 |
| 3-1-4 酸腐表面织构 | 第28-29页 |
| 3-1-5 酸腐表面织构的模型 | 第29-30页 |
| §3-2 溶液配比及温度对酸腐表面织构的影响 | 第30-34页 |
| 3-2-1 实验 | 第30页 |
| 3-2-2 结果与讨论 | 第30-34页 |
| §3-3 缓冲剂对表面织构的影响 | 第34-36页 |
| 3-3-1 实验 | 第34页 |
| 3-3-2 结果与讨论 | 第34-36页 |
| §3-4 改良酸腐表面织构工艺 | 第36-39页 |
| 3-4-1 实验 | 第36-37页 |
| 3-4-2 结果与讨论 | 第37-39页 |
| §3-5 亚硝酸钠对酸腐多晶硅表面织构的影响 | 第39-41页 |
| 3-5-1 实验 | 第39页 |
| 3-5-2 结果与讨论 | 第39-41页 |
| §3-6 小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 第四章 快速热处理对 PECVD 氮化硅性能的影响研究 | 第44-58页 |
| §4-1 氮化硅薄膜的制备方法及其应用 | 第44-51页 |
| 4-1-1 氮化硅的制备方法 | 第44-45页 |
| 4-1-2.等离子体化学气相沉积法(PECVD) | 第45-46页 |
| 4-1.3 工业化生产用PECVD 氮化硅的性质 | 第46-48页 |
| 4-1-4 氮化硅在太阳电池上的应用 | 第48-51页 |
| §4-2 氮化硅薄膜的制备及其性质 | 第51-53页 |
| 4-2-1 实验 | 第51页 |
| 4-2-2 结果与讨论 | 第51-53页 |
| ·快速热处理对氮化硅薄膜性能的影响 | 第53-55页 |
| 4-3-1 实验 | 第53页 |
| 4-3-2 结果与讨论 | 第53-55页 |
| §4-4 小结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 第五章 结论 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第60页 |