红外焦平面微桥结构的优化研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·非制冷红外探测技术的发展 | 第9-10页 |
| ·微测辐射热计阵列的发展 | 第10-13页 |
| ·本论文的研究依据 | 第13-14页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第14页 |
| ·本论文研究的意义 | 第14-15页 |
| 第二章 微桥结构的热学分析 | 第15-30页 |
| ·微桥结构的热学分析 | 第15-22页 |
| ·微桥结构的热学分析模型 | 第15-18页 |
| ·微桥结构的解析解热学分析 | 第18-22页 |
| ·微桥结构的有限元热分析 | 第22-29页 |
| ·有限元分析方法及ANSYS 软件 | 第22-23页 |
| ·微桥结构的有限元稳态热分析 | 第23-26页 |
| ·微桥结构的有限元瞬态热分析 | 第26-28页 |
| ·像元尺寸对微桥结构热学性能的影响 | 第28-29页 |
| ·本章总结 | 第29-30页 |
| 第三章 微桥结构的力学分析 | 第30-44页 |
| ·微桥结构的变形及其原因分析 | 第30-31页 |
| ·薄膜的残余应力产生的根源 | 第31-33页 |
| ·本征应力 | 第31-32页 |
| ·热应力 | 第32-33页 |
| ·残余应力对微结构的影响 | 第33-35页 |
| ·残余应力引起微悬臂梁的弯曲 | 第33-34页 |
| ·压应力导致固支微梁的屈曲 | 第34页 |
| ·残余应力影响谐振结构的响应频率 | 第34-35页 |
| ·薄膜残余应力的控制 | 第35-38页 |
| ·控制制备工艺条件 | 第35-36页 |
| ·退火 | 第36页 |
| ·应变相消 | 第36-37页 |
| ·其它控制残余应力的方法 | 第37-38页 |
| ·重力对微桥结构的影响 | 第38-39页 |
| ·氮化硅薄膜本征应力对微桥结构的影响 | 第39-40页 |
| ·本征应力梯度对微桥结构的影响 | 第40-43页 |
| ·本章总结 | 第43-44页 |
| 第四章 热应力对微桥结构的影响 | 第44-53页 |
| ·热应力对微桥结构的影响研究 | 第44-46页 |
| ·材料性能对微桥形变的影响 | 第46-47页 |
| ·结构参数对微桥形变的影响 | 第47-52页 |
| ·支撑层厚度和宽度对微桥形变的影响 | 第48-49页 |
| ·电极厚度对微桥形变的影响 | 第49-50页 |
| ·钝化层对微桥形变的影响 | 第50-52页 |
| ·桥腿上的倒角对微桥变形的影响 | 第52页 |
| ·本章总结 | 第52-53页 |
| 第五章 结论与展望 | 第53-55页 |
| ·研究结论 | 第53-54页 |
| ·发展与展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 作者攻读硕士期间取得的研究成果 | 第60-61页 |
