| 独创性声明 | 第1页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·Ti-N-C系列硬质薄膜介绍 | 第12-23页 |
| ·Ti-N-C系列硬质膜的结构与性能 | 第12-14页 |
| ·Ti-N-C系列膜的制各方法 | 第14-18页 |
| ·Ti-N-C系列膜的表征 | 第18-22页 |
| ·Ti-N-C系列膜的应用 | 第22-23页 |
| ·Ti-N-C系列膜的研究方向 | 第23页 |
| ·非平衡磁控溅射及中频孪生靶磁控溅射技术介绍 | 第23-25页 |
| ·本文的研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 实验设备和分析测试方法 | 第27-34页 |
| ·实验设备 | 第27-28页 |
| ·非平衡磁控溅射靶的磁场测量 | 第28-30页 |
| ·膜层的分析测试方法 | 第30-34页 |
| ·扫描电子显微镜(Scanning electron microscope,SEM) | 第30-31页 |
| ·X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD) | 第31页 |
| ·微纳米力学综合测试系统 | 第31-32页 |
| ·大载荷划痕仪 | 第32页 |
| ·显微硬度计 | 第32页 |
| ·轮廓仪 | 第32-33页 |
| ·分光光度计 | 第33-34页 |
| 第三章 Ti／TiN薄膜的制备 | 第34-44页 |
| ·TI／TIN薄膜制备 | 第34-35页 |
| ·工艺参数对TIN颜色的影响 | 第35-37页 |
| ·氮进气量对TiN膜颜色的影响 | 第35-36页 |
| ·偏压对TiN膜颜色的影响 | 第36-37页 |
| ·溅射功率对TiN膜颜色的影响 | 第37页 |
| ·不同工艺参数下TIN膜层相分析 | 第37-39页 |
| ·TIN膜层的表面形貌、厚度以及粗糙度的分析测试 | 第39-40页 |
| ·TIN膜硬度测试 | 第40-41页 |
| ·TiN膜的纳米硬度测试 | 第40-41页 |
| ·不同基体上TiN膜的显微硬度测试 | 第41页 |
| ·TI／TIN膜层结合力的测量 | 第41-43页 |
| ·不同基体对膜层结合力的影响 | 第41-43页 |
| ·霍尔源对膜层结合力的影响 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜的制备 | 第44-62页 |
| ·TI／TIN／TI(C,N)薄膜制备 | 第44-45页 |
| ·工艺参数对TI／TIN／TI(C,N)薄膜颜色的影响 | 第45-48页 |
| ·工作气氛对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜颜色的影响 | 第45-47页 |
| ·偏压对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜颜色的影响 | 第47-48页 |
| ·溅射电流对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜颜色的影响 | 第48页 |
| ·工艺参数对TI／TIN／TI(C,N)薄膜硬度的影响 | 第48-53页 |
| ·工作气氛对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜硬度的影响 | 第49-50页 |
| ·偏压对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜硬度的影响 | 第50-51页 |
| ·基体材料对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜硬度的影响 | 第51-53页 |
| ·工艺参数对TI／TIN／TI(C,N)薄膜晶体结构的影响 | 第53-57页 |
| ·工作气氛对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜晶体结构的影响 | 第53-54页 |
| ·偏压对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜晶体结构的影响 | 第54-56页 |
| ·溅射功率对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜晶体结构的影响 | 第56-57页 |
| ·磁控溅射TI／TIN／TI(C,N)薄膜的粗造度 | 第57-59页 |
| ·TI／TIN／TI(C,N)薄膜结合力的测量 | 第59-61页 |
| ·不同基体Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜的剥离方式 | 第59-60页 |
| ·霍尔源对Ti／TiN／Ti(C,N)薄膜结合力的影响 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 Ti／TiN／Ti(C,N)／TiC薄膜的制备 | 第62-69页 |
| ·TI／TIN／TI(C,N)／TIC薄膜制备 | 第62-63页 |
| ·TI／TIN／TI(C,N)／TIC薄膜的检测 | 第63-68页 |
| ·工作气氛对Ti／TiN／Ti(C,N)／TiC薄膜颜色的影响 | 第63-64页 |
| ·工作气氛对Ti／TiN／Ti(C,N)／TiC薄膜晶体结构的影响 | 第64-66页 |
| ·膜厚的测量 | 第66页 |
| ·基体对膜层硬度的影响 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 结论和建议 | 第69-71页 |
| ·结论 | 第69页 |
| ·建议 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第79页 |
