| 论文独创性声明 | 第1页 |
| 论文使用授权声明 | 第2-3页 |
| 摘要: | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·抛光技术的现状及发展 | 第9-16页 |
| ·机械抛光技术 | 第9-10页 |
| ·化学机械抛光 | 第10-13页 |
| ·磁流变抛光技术 | 第13-15页 |
| ·激光抛光技术 | 第15-16页 |
| ·课题研究意义 | 第16-17页 |
| ·本文研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 薄膜抛光技术基础 | 第19-23页 |
| ·薄膜抛光技术的特点 | 第19-20页 |
| ·薄膜抛光技术的去处机理及工艺 | 第20-22页 |
| ·材料去处机理 | 第20-21页 |
| ·主要工艺参数 | 第21-22页 |
| ·抛光过程中存在的问题及解决方案 | 第22-23页 |
| 第三章 基于Internet的薄膜抛光过程的模型建立与仿真 | 第23-29页 |
| ·抛光薄膜磨料粒度与抛光精度关系模型的建立 | 第23-29页 |
| ·薄膜表面形貌建模及仿真 | 第24-26页 |
| ·磨料粒径与抛光粗糙度的关系 | 第26-29页 |
| 第四章 基于Internet的薄膜抛光过程仿真 | 第29-39页 |
| ·基于Internet的薄膜抛光过程仿真的网络环境 | 第29-31页 |
| ·基于Internet的薄膜抛光过程表面粗糙度仿真的实现 | 第31-33页 |
| ·磨料粒度对粗糙度影响的仿真 | 第33-35页 |
| ·磨料浓度对表面粗糙度影响的仿真 | 第35-36页 |
| ·薄膜抛光参数优选数据库 | 第36-39页 |
| 第五章 薄膜抛光实验的研究 | 第39-47页 |
| ·薄膜抛光工艺的研究 | 第39页 |
| ·薄膜抛光实验工艺 | 第39-43页 |
| ·薄膜抛光实验系统 | 第40-41页 |
| ·薄膜抛光工艺 | 第41-43页 |
| ·薄膜抛光实验数据及分析 | 第43-45页 |
| ·实验数据与计算机仿真结果对比分析 | 第45-47页 |
| 第六章 结论与展望 | 第47-49页 |
| ·结论总结 | 第47-48页 |
| ·研究工作的展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
