| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·光导开关的发展与研究现状 | 第8-13页 |
| ·纳米加工技术 | 第13-14页 |
| ·AFM针尖诱导阳极氧化加工 | 第14-15页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第15-17页 |
| 第二章 超高速光导开关的设计和理论计算 | 第17-35页 |
| ·超高速光导开关的工作模式 | 第17-19页 |
| ·超高速光导开关的衬底材料选择 | 第19-20页 |
| ·超薄Ti膜的制备 | 第20-22页 |
| ·超高速光导开关的结构设计 | 第22-26页 |
| ·超高速光导开关输出特性的理论计算 | 第26-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 AFM阳极氧化加工的研究 | 第35-59页 |
| ·AFM针尖诱导阳极氧化加工的机理和理论模型 | 第36-41页 |
| ·偏压和扫描速度对加工结果的影响 | 第41-46页 |
| ·大气湿度影响的探针-样品之间的水桥的形成及对阳极氧化加工的影响 | 第46-50页 |
| ·氧化钛线的直线度分析 | 第50-53页 |
| ·AFM阳极氧化加工重复性的研究 | 第53-56页 |
| ·氧化钛线/点物质成分的确定 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 超高速光导开关的原型器件及其基本特性 | 第59-71页 |
| ·超高速光导开关的制作 | 第59-62页 |
| ·超高速光导开关的基本特性测试 | 第62-65页 |
| ·隧道结隧穿现象的研究 | 第65-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 结论和展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-81页 |
| 硕士期间发表论文和科研情况 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |