| 第一章 绪论 | 第1-21页 |
| §1.1 太阳能电池的意义——本世纪末有望晋级“替代能源” | 第8-11页 |
| §1.2 太阳能电池的发展——稳步走向薄膜化 | 第11-19页 |
| ·单晶硅太阳能电池 | 第11-13页 |
| ·多晶硅太阳能电池 | 第13-15页 |
| ·薄膜太阳能电池 | 第15-19页 |
| §1.3 小结 | 第19-21页 |
| 第二章 多晶硅薄膜的制备方法 | 第21-26页 |
| §2.1 Si膜沉积方法 | 第21-23页 |
| ·化学气相沉积法 | 第21-23页 |
| ·液相外延法 | 第23页 |
| §2.2 Si膜二次晶化的方法 | 第23-25页 |
| §2.3 小结 | 第25页 |
| §2.4 开题思想 | 第25-26页 |
| 第三章 PECVD法低温沉积多晶硅薄膜 | 第26-40页 |
| §3.1 衬底准备 | 第26页 |
| §3.2 试验设计 | 第26-27页 |
| §3.3 结果及分析 | 第27-39页 |
| ·H_2稀释的影响 | 第27-32页 |
| ·沉积温度的影响 | 第32-34页 |
| ·射频功率的影响 | 第34-35页 |
| ·衬底的影响 | 第35-38页 |
| ·PH_3掺杂的影响 | 第38-39页 |
| §3.4 结论 | 第39-40页 |
| 第四章 硅薄膜的固相晶化 | 第40-49页 |
| §4.1 试验设计 | 第40页 |
| §4.2 结果分析 | 第40-47页 |
| ·常规高温炉与快速光退火比较 | 第40-41页 |
| ·掺杂对固相晶化的影响 | 第41-44页 |
| ·固相晶化对材料光学带隙的影响 | 第44-46页 |
| ·固相晶化的减反射作用 | 第46页 |
| ·晶化后出现的H_2孔洞 | 第46-47页 |
| §4.3 小结 | 第47-49页 |
| 第五章 结论及下一步设想 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 发表论文 | 第59页 |