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功率VDMOSFET体二极管的优化研究

摘要第1-5页
Abstract第5-6页
目录第6-9页
第一章 绪论第9-17页
   ·概述第9-14页
     ·功率 MOSFET 的发展第9-10页
     ·功率 MOSFET 的分类第10-12页
     ·功率 VDMOSFET 的应用第12-14页
   ·优化 VDMOSFET 体二极管的意义第14-15页
   ·本文的主要工作第15-17页
第二章 功率 VDMOSFET 的重要参数第17-29页
   ·漏极电流第17页
   ·阈值电压第17-19页
   ·导通电阻第19-21页
   ·漏源击穿电压第21-22页
   ·栅电荷第22-25页
     ·栅电荷第22-23页
     ·栅电荷曲线分析第23-25页
   ·反向恢复电荷第25-28页
   ·本章小结第28-29页
第三章 从器件参数方面优化设计功率 VDMOSFET 体二极管第29-51页
   ·目前国际上优化体二极管的方法第29-31页
   ·VDMOSFET 基本参数的仿真电路及条件第31-35页
     ·阈值电压第31-32页
     ·导通电阻第32页
     ·击穿电压第32-33页
     ·栅电荷第33-34页
     ·反向恢复电荷第34-35页
   ·确定器件结构参数可调整的范围第35-36页
   ·确定各器件特性参数随结构参数变化趋势第36-42页
     ·调节 PHV 浓度第36-38页
     ·调节 PHV 浓度分布的标准偏差第38-39页
     ·调节栅宽第39-40页
     ·调节 P~+浓度第40-41页
     ·调节外延浓度第41-42页
   ·最优器件参数组第42页
   ·优化前后的器件性能参数的比较第42-43页
   ·器件各基本参数变化的物理解释第43-50页
     ·反向恢复电荷变化分析第47-48页
     ·阈值电压变化分析第48-49页
     ·击穿电压变化分析第49页
     ·栅电荷变化分析第49-50页
   ·本章小结第50-51页
第四章从器件结构方面优化设计功率 VDMOSFET 体二极管第51-62页
   ·三极管与体二极管并联减小反向恢复电荷思路第51-55页
     ·器件结构第51-52页
     ·工艺过程第52页
     ·器件特性分析第52-55页
     ·结论第55页
   ·肖特基二极管与体二极管并联减小反向恢复电荷思路第55-61页
     ·器件结构第55-56页
     ·MILLER 电容和反向恢复电荷减少的原理第56-57页
     ·模拟结果和讨论第57-60页
     ·反向恢复特性第60-61页
     ·结论第61页
   ·本章小结第61-62页
第五章 结论第62-63页
致谢第63-64页
参考文献第64-66页
附 录第66-70页
个人简历第70页

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