石英晶片厚度检测仪研究与设计
第一章 绪论 | 第1-21页 |
·课题来源及研究背景 | 第8-10页 |
·课题来源与意义 | 第8-9页 |
·研究背景 | 第9-10页 |
·研究现状 | 第10-18页 |
·石英晶体行业发展现状 | 第10-13页 |
·测厚仪器研究现状 | 第13-18页 |
·研究内容及基本思路 | 第18-19页 |
·论文构成 | 第19-21页 |
第二章 系统总体设计与传感器原理 | 第21-32页 |
·检测仪器组成结构 | 第21-22页 |
·厚度检测仪总体设计 | 第22-25页 |
·系统设计技术参数要求 | 第22-23页 |
·总体设计功能模块组成 | 第23-25页 |
·系统软件功能模式 | 第25页 |
·检测仪传感器 | 第25-31页 |
·检测仪传感器选择 | 第26-27页 |
·传感器工作原理 | 第27-28页 |
·等效电路分析 | 第28-30页 |
·LVDT测量调节电路 | 第30-31页 |
·小结 | 第31-32页 |
第三章 晶体厚度检测仪表设计 | 第32-53页 |
·厚度检测仪工作原理 | 第32页 |
·晶体厚度检测仪设计 | 第32-50页 |
·厚度检测仪电源模块设计 | 第33-34页 |
·信号调理接口电路模块 | 第34-42页 |
·单片微机处理器模块 | 第42-43页 |
·硬件复位电路 | 第43-44页 |
·液晶显示模块设计 | 第44-49页 |
·面板设定 | 第49-50页 |
·单片机硬件抗干扰措施 | 第50-52页 |
·小结 | 第52-53页 |
第四章 数据处理系统软件设计 | 第53-61页 |
·厚度检测仪开发的软件基础 | 第53-54页 |
·系统处理软件开发的数学算法 | 第54-56页 |
·厚度检测仪软件设计 | 第56-59页 |
·软件抗干扰措施 | 第59-60页 |
·小结 | 第60-61页 |
第五章 结论与展望 | 第61-62页 |
附录 | 第62-63页 |
参考文献 | 第63-66页 |
致谢 | 第66页 |