| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·激光产业发展现状 | 第10-11页 |
| ·国内、外激光调阻机研制发展历程及现状 | 第11页 |
| ·激光调阻机研究的意义 | 第11-12页 |
| ·本文主要研究的内容 | 第12-14页 |
| 第二章 激光调阻机及光刻平台系统概述 | 第14-17页 |
| ·激光调阻机组成概述 | 第14-15页 |
| ·光刻平台系统组成及各部分功能 | 第15-16页 |
| ·小结 | 第16-17页 |
| 第三章 激光调阻机光刻平台控制设计 | 第17-39页 |
| ·光刻平台控制设计要求 | 第17-18页 |
| ·光刻平台性能对激光调阻质量及速度的影响 | 第18-22页 |
| ·动态性能对激光调阻质量的影响 | 第18-20页 |
| 1 标准的光刻痕 | 第18-19页 |
| 2 光刻痕横槽下陷 | 第19页 |
| 3 光刻横槽上翘 | 第19-20页 |
| ·稳态性能对激光调阻质量的影响 | 第20页 |
| ·定位精度对激光调阻质量的影响 | 第20-21页 |
| ·光刻平台与测量探针机构的配合对调阻质量的影响 | 第21-22页 |
| ·光刻平台对激光调阻速度的影响 | 第22页 |
| ·光刻平台的控制方法设计及实现 | 第22-37页 |
| ·控制方法 | 第22-23页 |
| ·光刻平台的直线电机控制原理 | 第23-24页 |
| ·提高动态与稳态性能的伺服增益参数方法设计 | 第24-30页 |
| 1 比例增益调整 | 第25-28页 |
| 2 积分增益调整 | 第28-30页 |
| ·提高定位精度的斜率校正法(slope correction)控制设计 | 第30-33页 |
| 1 提高精度前定位精度测量与分析 | 第30-31页 |
| 2 斜率校正法(slope correction)控制原理 | 第31-32页 |
| 3 提高精度后精度测量数据与分析 | 第32-33页 |
| ·提高换行速度的控制方法设计 | 第33-37页 |
| 1 采用光刻平台与探针组的并行控制方式 | 第33-34页 |
| 2 速度、加速度伺服参数设置 | 第34-37页 |
| ·小结 | 第37-39页 |
| 第四章 激光调阻机光刻平台系统程序设计 | 第39-53页 |
| ·光刻程序总体设计思路 | 第39-40页 |
| ·单片电阻光刻程序设计与实现流程 | 第40-42页 |
| ·初始化程序 | 第40-41页 |
| ·行同步处理程序 | 第41-42页 |
| ·错误处理程序 | 第42页 |
| ·全自动连续电阻光刻程序设计、实现与流程 | 第42-45页 |
| ·初始化程序 | 第43-44页 |
| ·自动供片、检片程序 | 第44-45页 |
| ·自动收片流程 | 第45页 |
| ·光刻平台系统与上位机的数据通信 | 第45-47页 |
| ·建立以太网通信连接 | 第45-46页 |
| ·上位机对光刻平台系统的参数设置及数据下载 | 第46页 |
| ·光刻平台系统的错误信息报告 | 第46页 |
| ·上位机对控制器工作方式的设置 | 第46-47页 |
| ·上位机对光刻平台系统的直接命令操作 | 第47页 |
| ·光刻平台系统与上位机的同步应答设计 | 第47-49页 |
| ·同步应答的功能及连接 | 第47-48页 |
| ·光刻过程中的应答工作方式设计及实现 | 第48-49页 |
| ·光刻平台系统程序设计中采用的关键技术 | 第49-52页 |
| ·模块化 | 第50页 |
| ·多任务 | 第50-51页 |
| ·优先级动态调度 | 第51页 |
| ·冗余控制技术 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第五章 激光调阻机光刻平台系统可视化在线调试设计 | 第53-57页 |
| ·可视化在线调试的设计意义 | 第53页 |
| ·可视化在线调试的设计与实现 | 第53-56页 |
| ·光刻平台与光学系统校准参数调整 | 第53-54页 |
| ·光刻平台与探针组位置校准参数调整 | 第54-55页 |
| ·电阻片自动输送机械手位置参数调整 | 第55-56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 第六章 激光调阻机光刻平台系统可靠性设计 | 第57-68页 |
| ·系统故障诊断设计 | 第57-64页 |
| ·设计意义 | 第57页 |
| ·故障产生原因分析 | 第57-60页 |
| ·故障的动态判断方法 | 第60页 |
| ·故障的“容忍性” | 第60-62页 |
| ·产生故障后的自动应对措施及人为处理方法 | 第62-64页 |
| ·系统自保护设计 | 第64-67页 |
| ·运动机构碰撞自保护 | 第64-65页 |
| ·光刻平台电机自保护 | 第65-66页 |
| ·人为操作失误自保护 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 第七章 结束语及对未来工作的设想 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-71页 |
| 发表文章目录 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |