| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·等离子体概述 | 第8页 |
| ·微波电子回旋共振(ECR)等离子体的工作原理及应用 | 第8-10页 |
| ·低温等离子体放电的各种分析模型 | 第10-12页 |
| ·动力学模型 | 第10页 |
| ·蒙特卡罗模型 | 第10-11页 |
| ·流体模型 | 第11-12页 |
| 2 ECR等离子体的数学模型 | 第12-17页 |
| ·磁场模型 | 第12-13页 |
| ·等离子体模型 | 第13-15页 |
| ·微分方程化简 | 第15-17页 |
| ·二维柱坐标方程 | 第15-16页 |
| ·初始条件以及边界条件 | 第16-17页 |
| 3 数值模拟 | 第17-34页 |
| ·数值方法介绍 | 第17-27页 |
| ·计算三重积分的优化复化Simpson数值算法 | 第17-22页 |
| ·求解微分方程的有限体积法 | 第22-25页 |
| ·等带宽存贮法 | 第25页 |
| ·带形方程组的高斯法 | 第25-27页 |
| ·磁场的计算 | 第27-28页 |
| ·微分方程组的求解 | 第28-34页 |
| 4 数值模拟结果 | 第34-38页 |
| ·计算参数说明 | 第34页 |
| ·数值结果 | 第34-38页 |
| ·磁场模型结果 | 第34-35页 |
| ·等离子体模型结果 | 第35-38页 |
| 结论 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-42页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第42-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |