| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-25页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠的研究背景 | 第15-18页 |
| ·CVD 金刚石简介 | 第15-16页 |
| ·金刚石厚膜球冠的特点及其应用 | 第16-18页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠的研究现状 | 第18-22页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠的制备方法 | 第19-20页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠的表征方法 | 第20-22页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠制备中存在的问题 | 第22页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第22-25页 |
| ·课题来源 | 第22-23页 |
| ·主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 曲面金刚石膜生长流场及温度场仿真研究 | 第25-49页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·仿真研究的理论基础 | 第25-33页 |
| ·传热学基础 | 第25-27页 |
| ·计算流体力学理论 | 第27-33页 |
| ·仿真模型的建立 | 第33-39页 |
| ·金刚石膜的仿真理论 | 第33-34页 |
| ·金刚石膜有限元仿真模型的建立 | 第34-39页 |
| ·仿真结果及分析 | 第39-48页 |
| ·凸球冠基体仿真结果及分析 | 第40-43页 |
| ·凹球冠基体仿真结果及分析 | 第43-46页 |
| ·基体形状的仿真结果分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 大尺寸金刚石厚膜球冠制备机理研究 | 第49-69页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·CVD 金刚石膜的生长机理 | 第49-57页 |
| ·CVD 金刚石膜的生长驱动力 | 第49-54页 |
| ·CVD 金刚石膜的非平衡态生长 | 第54-57页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠的成膜研究 | 第57-61页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠生长的特殊性 | 第57页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠生长附着力的研究 | 第57-60页 |
| ·基体曲率对大尺寸金刚石厚膜球冠的影响 | 第60-61页 |
| ·CVD 金刚石膜弧行为的研究 | 第61-68页 |
| ·直流等离子体弧源产生过程 | 第62页 |
| ·等离子体弧源的理论分析 | 第62-64页 |
| ·实验结果分析 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第四章 大尺寸金刚石厚膜球冠制备的工艺研究 | 第69-97页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·金刚石厚膜球冠制备的实验方法 | 第69-72页 |
| ·基体的预处理 | 第71-72页 |
| ·沉积室的净化及 Mo 基体的安装 | 第72页 |
| ·金刚石厚膜球冠制备工艺参数的影响 | 第72-95页 |
| ·基体温度对金刚石厚膜球冠制备的影响 | 第72-76页 |
| ·基体形状对金刚石厚膜球冠制备的影响 | 第76-78页 |
| ·基体半径对金刚石厚膜微观结构均匀性影响 | 第78-83页 |
| ·基体材质对金刚石厚膜球制备的影响 | 第83-84页 |
| ·沉积室气压对金刚石厚膜球冠制备的影响 | 第84-85页 |
| ·碳源气体浓度对金刚石厚膜球冠制备的影响 | 第85-94页 |
| ·基体与等离子体炬阳极环的距离对制备金刚石厚膜的影响 | 第94-95页 |
| ·本章小结 | 第95-97页 |
| 第五章 大尺寸金刚石厚膜球冠的力学性能研究 | 第97-120页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠残余应力的产生原因 | 第97-101页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜残余应力的测试方法 | 第97-101页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜残余应力的测试研究 | 第101页 |
| ·制备工艺对大尺寸金刚石厚膜球冠应力的影响 | 第101-106页 |
| ·基体温度对金刚石膜残余应力的影响 | 第102-103页 |
| ·碳源浓度对金刚石膜残余应力的影响 | 第103-106页 |
| ·金刚石膜断裂行为的机理研究 | 第106-110页 |
| ·金刚石膜裂纹的产生 | 第106-107页 |
| ·断裂强度 Weibull 分布的基本理论 | 第107-110页 |
| ·金刚石膜的力学性能研究 | 第110-113页 |
| ·甲烷浓度对金刚石膜的显微硬度的影响 | 第110页 |
| ·金刚石膜的显微硬度的测量 | 第110-111页 |
| ·金刚石膜显微硬度的实验方法 | 第111-112页 |
| ·金刚石膜显微硬度的结果分析 | 第112-113页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜球冠应力的解决方案 | 第113-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 第六章 总结与展望 | 第120-124页 |
| ·全文总结 | 第120-123页 |
| ·完成的主要工作及取得的成果 | 第120-123页 |
| ·本文创新点 | 第123页 |
| ·展望 | 第123-124页 |
| 参考文献 | 第124-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 在博期间的研究成果及发表的学术论文 | 第132-134页 |