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电子束蒸发沉积掺杂TiO2薄膜的结构控制及其性质研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
1. 绪论第11-21页
   ·二氧化钛的光催化机理及其应用第11-13页
     ·二氧化钛的光催化机理第12页
     ·二氧化钛的应用第12-13页
   ·二氧化钛薄膜的制备方法第13-16页
     ·脉冲激光沉积法第13-14页
     ·磁控溅射法第14页
     ·电子束蒸发法第14-15页
     ·溶胶-凝胶法第15-16页
     ·化学气相沉积法第16页
   ·二氧化钛薄膜的改性及研究进展第16-20页
     ·过渡金属离子掺杂改性第17-18页
     ·贵金属离子掺杂改性第18页
     ·稀土金属掺杂改性第18-19页
     ·非金属掺杂改性第19页
     ·与窄带半导体复合的研究进展第19-20页
   ·本文的研究目的与内容第20-21页
2 二氧化钛掺杂薄膜的制备技术及其结构和性质分析方法第21-31页
   ·实验材料及仪器第21页
   ·本实验的蒸发镀膜工艺第21-27页
     ·电子束蒸发法第21-24页
     ·靶材的制备及其表征第24-26页
     ·蒸发镀膜工艺流程第26-27页
   ·薄膜的结构表征与性能测试第27-31页
     ·拉曼光谱第27-28页
     ·X-射线衍射仪第28页
     ·X射线光电子能谱分析第28页
     ·原子力显微镜第28-29页
     ·扫描电子显微镜第29页
     ·紫外-可见分光光度计第29页
     ·光化学反应仪第29-31页
3 La-TiO_2薄膜的制备工艺对其结构和形貌的影响第31-60页
   ·不同退火时间对TiO_2薄膜结构的影响第31-33页
     ·薄膜的制备第31页
     ·薄膜的Raman分析第31-32页
     ·薄膜的XRD分析第32-33页
   ·不同退火温度对La-TiO_2薄膜结构的影响第33-44页
     ·掺杂比例为2.5wt%的La-TiO_2薄膜第33-35页
     ·掺杂比例为5wt%的La-TiO_2薄膜第35-38页
     ·掺杂比例为10wt%的La-TiO_2薄膜第38-40页
     ·掺杂比例为15wt%的La-TiO_2薄膜第40-42页
     ·掺杂比例为20wt%的La-TiO_2薄膜第42-44页
     ·小结第44页
   ·不同基底对La-TiO_2薄膜结构的影响第44-54页
     ·掺杂比例为2.5wt%的La-TiO_2薄膜第44-46页
     ·掺杂比例为5wt%的La-TiO_2薄膜第46-48页
     ·掺杂比例为10wt%的La-TiO_2薄膜第48-50页
     ·掺杂比例为15wt%的La-TiO_2薄膜第50-52页
     ·掺杂比例为20wt%的La-TiO_2薄膜第52-54页
     ·小结第54页
   ·La掺杂含量对薄膜结构的影响第54-59页
     ·薄膜的制备第54-55页
     ·薄膜的Raman分析第55页
     ·薄膜的XRD分析第55-56页
     ·薄膜的XPS分析第56-57页
     ·薄膜的AFM分析第57-58页
     ·薄膜的UV-Vis分析第58页
     ·小结第58-59页
   ·结论第59-60页
4 硅掺杂二氧化钛薄膜的制备与结构分析第60-67页
   ·不同基底对薄膜结构的影响第60-61页
     ·薄膜的制备第60页
     ·薄膜的Raman分析第60-61页
   ·不同退火温度对薄膜结构的影响第61-66页
     ·薄膜的制备第61页
     ·薄膜的XPS分析第61-62页
     ·薄膜的XRD分析第62-63页
     ·薄膜的Raman分析第63-64页
     ·薄膜的AFM分析第64页
     ·薄膜的SEM分析第64-65页
     ·UV-Vis分析第65-66页
   ·结论第66-67页
5 TiO_2及其掺杂薄膜的光催化性质第67-74页
   ·罗丹明B溶液初始浓度对光催化活性的影响第67-68页
   ·光源对罗丹明B溶液降解率的影响第68页
   ·不同掺杂比例的La-TiO_2薄膜对罗丹明B溶液光催化降解率的影响第68-69页
   ·不同基底对罗丹明B溶液光催化降解率的影响第69-71页
     ·空白基底对罗丹明B溶液光催化降解率的影响第70页
     ·不同基底对La-TiO_2薄膜的光催化降解率的影响第70-71页
     ·不同基底对Si-TiO_2薄膜的光催化活性的影响第71页
   ·不同退火温度的薄膜对罗丹明B溶液的光催化降解率的影响第71-73页
     ·不同退火温度对La-TiO_2薄膜的光催化活性的影响第72页
     ·不同退火温度对Si-TiO_2薄膜的光催化活性的影响第72-73页
   ·本章总结第73-74页
全文结论第74-75页
致谢第75-76页
参考文献第76-83页
附录第83页

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