| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-26页 |
| ·课题研究目的与意义 | 第10-11页 |
| ·超分辨率成像技术研究现状 | 第11-17页 |
| ·亚波长聚焦和超聚焦效应研究现状 | 第17-20页 |
| ·突破衍射极限远场成像的新技术-双曲透镜(Hyperlens) | 第20-23页 |
| ·本文的工作及创新点 | 第23-24页 |
| ·本文的整体框架结构安排 | 第24-26页 |
| 第二章 光学衍射系统与亚波长光学系统 | 第26-38页 |
| ·传统光学系统中的衍射极限 | 第26-27页 |
| ·近场和远场成像理论 | 第27-30页 |
| ·表面等离子激元亚波长光学基本理论 | 第30-35页 |
| ·变换光学及Metamaterials | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 光刻成像系统中三维掩模近场仿真 | 第38-51页 |
| ·光刻成像系统 | 第39-41页 |
| ·通用的三维掩模模型 | 第41-44页 |
| ·数值仿真与讨论 | 第44-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 优化双曲透镜实现20纳米以下光刻技术节点 | 第51-68页 |
| ·Hyperlens的理论分析 | 第51-55页 |
| ·Hyperlens结构优化 | 第55-61页 |
| ·数值分析与讨论 | 第61-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 凹形双曲透镜实现直接缩小成像 | 第68-83页 |
| ·Concave Hyperlens的结构设计 | 第69-70页 |
| ·Concave Hyperlens的性能分析 | 第70-76页 |
| ·数值仿真与结果分析 | 第76-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第六章 圆形金属透镜实现远场亚波长超聚焦 | 第83-109页 |
| ·金属透镜实现超聚焦的机理 | 第83-84页 |
| ·基于介质光栅的远场超聚焦透镜模型 | 第84-92页 |
| ·调节焦距的方法分析 | 第92-99页 |
| ·金属透镜结构优化、数值仿真与结果分析 | 第99-104页 |
| ·使用Metamaterial实现远场亚波长超聚焦 | 第104-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 第七章 结束语及未来工作的展望 | 第109-112页 |
| ·本文主要研究结论 | 第109-110页 |
| ·未来研究工作展望 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-119页 |
| 在学期间的研究成果 | 第119-121页 |
| 致谢 | 第121页 |