静电悬浮位置控制系统的设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 1 绪论 | 第13-19页 |
| ·选题的背景、目的和意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究动向 | 第14-16页 |
| ·研究内容 | 第16-19页 |
| 2 静电悬浮位置控制系统综述 | 第19-29页 |
| ·静电悬浮原理 | 第19-23页 |
| ·静电悬浮基本原理 | 第19页 |
| ·静电悬浮过程分析 | 第19-22页 |
| ·无控制静电悬浮过程实验 | 第22-23页 |
| ·静电悬浮位置控制系统原理及构成 | 第23-25页 |
| ·静电悬浮位置控制系统原理 | 第23-24页 |
| ·静电悬浮位置控制系统构成 | 第24-25页 |
| ·系统功能 | 第25-26页 |
| ·系统工作环境 | 第26页 |
| ·悬浮对象 | 第26页 |
| ·位置控制精度 | 第26-27页 |
| ·位置控制频率和控制周期 | 第27-29页 |
| 3 系统硬件设计与实现 | 第29-63页 |
| ·静电悬浮位置控制系统 | 第29-31页 |
| ·位置测量设计与实现 | 第31-47页 |
| ·位置测量设计 | 第31-39页 |
| ·位置测量实现 | 第39-47页 |
| ·控制单元硬件设计与实现 | 第47-57页 |
| ·STC11F32XE 单片机及外围电路 | 第48-51页 |
| ·模数转换器AD976 及接口电路 | 第51-53页 |
| ·数模转换器AD7247 及接口电路 | 第53-55页 |
| ·串口接口电路 | 第55-56页 |
| ·电源设计 | 第56页 |
| ·电磁兼容设计 | 第56-57页 |
| ·高压放大器的选择 | 第57-59页 |
| ·电极的设计 | 第59-61页 |
| ·系统硬件实现 | 第61-63页 |
| 4 系统软件设计与实现 | 第63-77页 |
| ·编程语言和开发环境 | 第63页 |
| ·系统主程序 | 第63-66页 |
| ·控制子程序 | 第66-68页 |
| ·串口中断子程序 | 第68-69页 |
| ·开关量中断子程序 | 第69页 |
| ·控制算法设计 | 第69-74页 |
| ·PID 控制 | 第69-71页 |
| ·积分分离的PID 控制算法 | 第71-73页 |
| ·PID 参数整定 | 第73-74页 |
| ·位置控制消耗时间 | 第74-77页 |
| 5 位置控制系统悬浮实验 | 第77-81页 |
| ·位置控制系统实验装置 | 第77-78页 |
| ·悬浮过程 | 第78-80页 |
| ·悬浮起步实验 | 第78-79页 |
| ·悬浮位置控制 | 第79-80页 |
| ·实验结果分析 | 第80-81页 |
| 6 工作总结 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 附录1 发表文章 | 第84-85页 |
| 附录2 三维控制板原理图 | 第85-86页 |
| 附录3 三维控制板实物图 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
