单晶硅金刚石车削频谱分析与刀具磨损机理

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章 绪论	第9-16页
·课题研究的目的及意义	第9-10页
·单晶硅超精密切削技术的国内外研究现状	第10-14页
·超精密切削脆塑转变机理	第10-11页
·单晶硅金刚石车削表面变质层的研究	第11-13页
·金刚石刀具磨损研究现状	第13-14页
·本课题的主要研究内容	第14-16页
第2章 单晶硅脆塑转变现象及其振动频谱分析	第16-30页
·单晶硅金刚石车削实验条件	第16-18页
·车削实验加工设备及监测装置	第16页
·金刚石刀具和单晶硅试件	第16-17页
·切削参数的选择	第17-18页
·单晶硅超精密车削脆塑转变现象	第18-20页
·单晶硅微纳去除过程的振动频谱分析	第20-29页
·单晶硅脆性域与塑性域车削状态刀具振动频谱分析	第20-23页
·塑性域切削速度对刀具振动影响的频谱分析	第23-26页
·切削深度和进给量对刀具振动影响的频谱分析	第26-27页
·刀具磨损对自身振动影响的频谱分析	第27-29页
·本章小结	第29-30页
第3章 切削速度和刀具磨损对单晶硅表面质量的影响	第30-38页
·实验用金刚石刀具和单晶硅试样	第30-31页
·切削速度对单晶硅表面质量的影响	第31-33页
·刀具磨损对单晶硅表面质量的影响	第33-37页
·本章小结	第37-38页
第4章 金刚石刀具磨损形态与磨损机理研究	第38-52页
·实验条件	第38-39页
·金刚石刀具和工件材料性质	第38页
·刀具磨损量及磨损机理评价参数	第38-39页
·单晶硅加工的刀具磨损形态	第39-41页
·刀具微沟槽磨损机理的XPS 分析	第41-43页
·切削速度对刀具磨损的影响	第43-46页
·切削速度对刀具磨损形态和磨损量的影响	第43-44页
·切削速度对刀具磨损影响的XPS 分析	第44-46页
·切削长度对刀具磨损的影响	第46-50页
·刀具磨损量与切削长度模型	第46-48页
·切削长度对刀具磨损影响的XPS 分析	第48-50页
·本章小结	第50-52页
结论	第52-53页
参考文献	第53-57页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第57-59页
致谢	第59页